首页--工业技术论文--化学工业论文--电热工业、高温制品工业论文--人造超硬度材料的生产论文

SiC单晶片切割力建模与控制

摘要第3-5页
abstract第5-6页
1 绪论第9-17页
    1.1 课题背景第9-12页
        1.1.1 圆盘锯切割第10-11页
        1.1.2 带锯切割第11页
        1.1.3 线锯切割第11-12页
    1.2 研究现状及存在的问题第12-15页
        1.2.1 国内外研究现状第12-13页
        1.2.2 存在的问题第13-15页
    1.3 本文研究内容第15-17页
2 试验条件及工艺参数分析第17-23页
    2.1 试验条件第17-18页
    2.2 工艺参数分析第18-22页
        2.2.1 切割力分析第18-19页
        2.2.2 工艺参数对切割力的影响第19-22页
    2.3 本章小结第22-23页
3 切割力模型的系统辨识第23-35页
    3.1 切割力模型的系统阶次辨识第24-29页
        3.1.1 参数模型的分类第24-26页
        3.1.2 F检验阶次辨识方法第26-27页
        3.1.3 阶次辨识的实验设计及结果分析第27-29页
    3.2 切割力模型的系统参数辨识第29-34页
        3.2.1 最小二乘法第29-30页
        3.2.2 递推最小二乘法第30-31页
        3.2.3 遗忘因子递推最小二乘法第31-32页
        3.2.4 切割力模型的参数辨识方法仿真分析第32-34页
    3.3 本章小结第34-35页
4 切割力控制器设计第35-53页
    4.1 自适应控制第35-44页
        4.1.1 自校正控制第36-37页
        4.1.2 最小方差自校正控制第37-40页
        4.1.3 最小方差自校正控制器设计第40-41页
        4.1.4 控制器仿真与分析第41-44页
    4.2 预测控制第44-51页
        4.2.1 预测控制第44-46页
        4.2.2 广义预测控制第46-48页
        4.2.3 广义预测控制器设计第48-50页
        4.2.4 控制器仿真与分析第50-51页
    4.3 本章小结第51-53页
5 切割力控制器性能实验验证第53-71页
    5.1 控制系统总体方案设计第53页
    5.2 多功能控制卡试验台的设计第53-58页
        5.2.1 通讯电路的设计第54页
        5.2.2 步进电机及驱动器第54-58页
    5.3 进给系统软件设计第58-62页
        5.3.1 控制算法程序设计第59-60页
        5.3.2 发生脉冲功能的实现第60-62页
    5.4 控制器性能测试试验第62-70页
        5.4.1 最小方差自校正控制器(MVC)试验结果第62-67页
        5.4.2 广义预测控制器(GPC)试验结果第67-69页
        5.4.3 MVC与GPC的对比第69-70页
    5.5 本章小结第70-71页
6 总结与展望第71-73页
    6.1 总结第71页
    6.2 展望第71-73页
致谢第73-75页
参考文献第75-79页
攻读硕士期间发表论文及参与项目第79页

论文共79页,点击 下载论文
上一篇:陶瓷膏体配方及试验研究
下一篇:SiC单晶片研磨机理及材料去除率研究