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MEMS麦克风读出电路设计

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
符号对照表第12-13页
缩略语对照表第13-16页
第一章 绪论第16-20页
    1.1 本课题研究背景与意义第16页
    1.2 国内外研究现状第16-18页
    1.3 本课题研究内容及预期成果第18-19页
    1.4 本文章节安排第19-20页
第二章 MCM传感器特性研究第20-28页
    2.1 MCM的基本特性第20-23页
    2.2 MCM的偏置方式第23-28页
        2.2.1 DC偏置方式第23-25页
        2.2.2 电荷放大偏置方式第25-26页
        2.2.3 交流偏置方式第26-28页
第三章 模拟麦克风设计第28-62页
    3.1 模拟麦克风系统结构第28-29页
    3.2 输入级源跟随器第29-36页
        3.2.1 基本功能分析第29-32页
        3.2.2 设计细节及仿真分析第32-36页
    3.3 低压低噪声前置放大器第36-49页
        3.3.1 前置放大器性能要求第36-37页
        3.3.2 前置放大器结构选取第37-42页
        3.3.3 具体电路实现第42-44页
        3.3.4 设计细节及仿真分析第44-49页
    3.4 低压带隙基准第49-52页
    3.5 电荷泵第52-59页
        3.5.1 基本原理分析第53-55页
        3.5.2 Latched电荷泵的设计与实现第55-59页
    3.6 系统电路仿真与分析第59-62页
第四章 数字麦克风设计第62-84页
    4.1 数字麦克风系统结构第62-63页
    4.2 低噪声前置放大器第63-68页
        4.2.1 基本功能分析第63-65页
        4.2.2 噪声及仿真分析第65-68页
    4.3 模数转换器的设计与实现第68-84页
        4.3.1 模数转换器类型选取第68-69页
        4.3.2 Sigma-Delta ADC基本原理分析第69-72页
        4.3.3 Sigma-Delta ADC架构选取第72-73页
        4.3.4 Sigma-Delta ADC设计参数的确定第73-77页
        4.3.5 具体电路实现及仿真分析第77-84页
第五章 版图与测试第84-88页
    5.1 模拟麦克风芯片的版图设计第84-85页
    5.2 模拟麦克风芯片的测试与分析第85-88页
        5.2.1 性能指标测试与分析第85-87页
        5.2.2 同类芯片性能指标的对比第87-88页
第六章 总结与展望第88-90页
    6.1 本文总结第88页
    6.2 课题展望第88-90页
参考文献第90-94页
致谢第94-96页
作者简介第96-97页

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