基于声表面波的压力传感器和紫外探测器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 声表面波技术简介 | 第11-13页 |
| 1.2 声表面波传感器 | 第13-19页 |
| 1.3 声表面波压力传感器 | 第19-21页 |
| 1.4 声表面波紫外探测器 | 第21-24页 |
| 1.5 研究方向和论文安排 | 第24-27页 |
| 第二章 单端口声表面波谐振器的设计与仿真 | 第27-45页 |
| 2.1 声表面波谐振器的工作原理 | 第27-32页 |
| 2.2 压电材料和声表面波谐振器的结构 | 第32-39页 |
| 2.2.1 声表面波压电材料 | 第32-35页 |
| 2.2.2 声表面波压电材料的种类 | 第35-38页 |
| 2.2.3 声表面波谐振器器件的结构 | 第38-39页 |
| 2.3 声表面波谐振器的有限元仿真 | 第39-44页 |
| 2.4 本章小节 | 第44-45页 |
| 第三章 声表面波谐振器的制备 | 第45-75页 |
| 3.1 紫外光刻参数选择与掩膜板设计 | 第45-48页 |
| 3.2 高精度光刻及反转曝光 | 第48-59页 |
| 3.2.1 高精度曝光技术 | 第48-50页 |
| 3.2.2 AZ 5214E的反转曝光技术 | 第50-53页 |
| 3.2.3 声表面波器件的反转曝光及金属沉积 | 第53-59页 |
| 3.3 反转光刻的结果 | 第59-65页 |
| 3.3.1 正常曝光后的图案 | 第59-60页 |
| 3.3.2 光刻时的临近效应 | 第60-61页 |
| 3.3.3 非圆形晶片的光刻胶表面张力效应 | 第61-64页 |
| 3.3.4 杂质粒子对精密曝光的影响 | 第64-65页 |
| 3.4 声表面波器件的检查与封装 | 第65-67页 |
| 3.5 电子束曝光制备高频声表面波谐振器 | 第67-73页 |
| 3.5.1 电子束曝光技术简介 | 第67-68页 |
| 3.5.2 氧化锌压电薄膜的生长 | 第68-71页 |
| 3.5.3 高频声表面波器件的制备 | 第71-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 声表面波压力传感器 | 第75-89页 |
| 4.1 3D打印压力传感器腔体 | 第75-80页 |
| 4.1.1 3D打印设备简介 | 第75-76页 |
| 4.1.2 3D打印材料 | 第76-77页 |
| 4.1.3 压力传感器腔体设计 | 第77-78页 |
| 4.1.4 压力传感器腔体的制备 | 第78-80页 |
| 4.2 声表面波压力传感器的封装 | 第80-83页 |
| 4.2.1 声表面波谐振器测试 | 第80-82页 |
| 4.2.2 压力传感器封装 | 第82-83页 |
| 4.3 压力传感测试平台的搭建 | 第83-84页 |
| 4.4 压力传感器的测试 | 第84-88页 |
| 4.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 声表面波紫外探测器 | 第89-99页 |
| 5.1 紫外敏感材料和器件制备 | 第89-93页 |
| 5.2 紫外探测器测试 | 第93-98页 |
| 5.3 本章小结 | 第98-99页 |
| 第六章 总结与展望 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 硕士期间发表的论文及专利 | 第110页 |
