| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究的背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 码垛及其搬运机器人研究现状及其发展形势 | 第10-14页 |
| 1.2.1 工业机器人发展主要经历的时间阶段 | 第11页 |
| 1.2.2 搬运及码垛机器人的特点及其发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.2.3 典型的搬运及其码垛机器人 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 PECVD硬件相关组成 | 第15-26页 |
| 2.1 PEVCD上下料机器人系统的组成 | 第15-16页 |
| 2.2 PECVD上下料的生产工艺 | 第16-18页 |
| 2.3 应用开发的需求 | 第18-20页 |
| 2.4 硬件的介绍 | 第20-21页 |
| 2.4.1 机器人 | 第20-21页 |
| 2.4.2 石墨舟 | 第21页 |
| 2.5 机器人与PLC控制器端通信网口数量以及大小选择 | 第21-22页 |
| 2.6 机器人离线编程 | 第22-23页 |
| 2.7 开发流程 | 第23-24页 |
| 2.8 机器人编程平台介绍 | 第24-25页 |
| 2.9 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 软件离线编程实现 | 第26-43页 |
| 3.1 现场空间坐标系数的测量 | 第26-27页 |
| 3.1.1 现场测量 | 第26页 |
| 3.1.2 空间建模 | 第26-27页 |
| 3.2 机器人下位机离线软件实现 | 第27-37页 |
| 3.2.1 机器人下位机的具体功能实现 | 第28-35页 |
| 3.2.2 示教界面的编写 | 第35-36页 |
| 3.2.3 运动控制中算法的编写 | 第36-37页 |
| 3.3 监控系统的设计 | 第37-38页 |
| 3.4 在离线示教时存在的问题 | 第38-39页 |
| 3.5 史陶比尔机器人坐标系 RX,RY,RZ 姿态确定方法 | 第39-41页 |
| 3.5.1 欧拉角与旋转变换矩阵的关系 | 第39页 |
| 3.5.2 旋转变换矩阵与姿态的关系 | 第39-40页 |
| 3.5.3 实际验证欧拉角转换矩阵 | 第40-41页 |
| 3.6 直接比较 RX,RY,RZ 的简单方法 | 第41页 |
| 3.7 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 通过 Jacobian 矩阵矫正工业机器人工具坐标系 - 34 - | 第43-53页 |
| 4.1 串联机器人中 Jacobian 矩阵的分析 - 34 - | 第43-45页 |
| 4.2 串联机器人中 Jacobian 矩阵的分析 - 36 - | 第45-47页 |
| 4.3 史陶比尔机器人工具补偿功能实验 | 第47-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 硅片搬运实验 | 第53-58页 |
| 5.1 通过示教编程进行石墨舟中的硅片搬运 | 第53页 |
| 5.2 通过离线编程软件经行石墨舟搬运轨迹模拟 | 第53-54页 |
| 5.3 现场轨迹校准实验 | 第54-57页 |
| 5.3.1 实验效果一：用户简易示教算法验证实验 | 第54-55页 |
| 5.3.2 实验效果二：一点法快速校准工具坐标系算法验证实验 | 第55-56页 |
| 5.3.3 实验效果三：三点法快速校准工具坐标系算法验证实验 | 第56-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 结论与展望 | 第58-59页 |
| 6.1 结论 | 第58页 |
| 6.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
