| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外微型电容多维力感知机构现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国内外微型多维力感知机构现状 | 第11-16页 |
| 1.3 电容感知介绍 | 第16-19页 |
| 1.3.1 变极距式电容感知 | 第17-18页 |
| 1.3.2 变面积式电容感知 | 第18-19页 |
| 1.4 微电容测量常用方法 | 第19-22页 |
| 1.4.1 调频式电容测量电路 | 第19页 |
| 1.4.2 充放电式微电容检测 | 第19-20页 |
| 1.4.3 运算放大式电容测量电路 | 第20-21页 |
| 1.4.4 电桥式电容测量电路 | 第21-22页 |
| 1.5 国内外电容感知研究现状 | 第22-23页 |
| 1.6 论文研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 电容微位移感知单元构型与解耦 | 第25-38页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 单一平面电容感知单元 | 第25-37页 |
| 2.2.1 三极距微位移感知单元 | 第26页 |
| 2.2.2 阵列式二维微位移感知单元 | 第26-28页 |
| 2.2.3 扇形六维微位移感知单元 | 第28-29页 |
| 2.2.4 方形六维微位移感知单元 | 第29-31页 |
| 2.2.5 六维微位移感知单元的解耦分析 | 第31-35页 |
| 2.2.6 Maxwell仿真验证 | 第35-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 微型电容力感知机构弹性体构型 | 第38-54页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 微型力感知机构弹性体构型方案 | 第38-39页 |
| 3.2.1 Stewart并联式弹性体 | 第38-39页 |
| 3.3 解耦分析 | 第39-53页 |
| 3.3.1 浮动十字梁弹性体解耦分析 | 第39-42页 |
| 3.3.2 浮动十字梁各向同性分析 | 第42-48页 |
| 3.3.3 Stewart平台并联式弹性体解耦分析 | 第48-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 基于AD7746的数据采集系统设计 | 第54-68页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 电容多维微力感知机构测量方法 | 第54-59页 |
| 4.2.1 电容测量芯片AD7746介绍 | 第55-56页 |
| 4.2.2 力感知机构电容检测测量方法 | 第56页 |
| 4.2.3 力感知机构电容检测硬件系统 | 第56-59页 |
| 4.3 滤波 | 第59-64页 |
| 4.3.1 传统数字滤波 | 第59-61页 |
| 4.3.2 卡尔曼-均值滤波 | 第61-64页 |
| 4.4 上位机及软件系统 | 第64-67页 |
| 4.4.1 上位机软件 | 第64-66页 |
| 4.4.2 下位机软件 | 第66-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 基于ANSYSworkbench与Maxwell的虚拟标定 | 第68-76页 |
| 5.1 引言 | 第68-69页 |
| 5.2 虚拟标定过程 | 第69-70页 |
| 5.2.1 ANSYSworkbench软件的静力学计算 | 第69-70页 |
| 5.2.2 Maxwell软件的电容值计算 | 第70页 |
| 5.3 单一平面微型电容多维力感知机构虚拟标定 | 第70-74页 |
| 5.3.1 ANSYSworkbench软件的静力学计算 | 第70-71页 |
| 5.3.2 Maxwell软件的电容值计算 | 第71-74页 |
| 5.4 误差分析 | 第74-75页 |
| 5.4.1 误差矩阵推导 | 第74-75页 |
| 5.4.2 标定结果误差计算 | 第75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 第6章 微型电容六维力传感器样机制作 | 第76-80页 |
| 6.1 引言 | 第76页 |
| 6.2 多维力感知机构样机制作 | 第76-79页 |
| 6.2.1 多维力感知机构样机组成 | 第76-77页 |
| 6.2.2 电容极板制作工艺 | 第77页 |
| 6.2.3 信号采集硬件软件 | 第77-79页 |
| 6.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附录Ⅰ | 第88-90页 |
| 附录Ⅱ | 第90-91页 |
