| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 金刚石刀具材料研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 微切削刀具的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 微细切削刀具的制备工艺 | 第14-15页 |
| 1.3.2 聚焦离子束加工技术在微刀具制备中的应用 | 第15-17页 |
| 1.4 论文主要工作内容 | 第17-18页 |
| 第2章 聚焦离子束加工技术的基础研究 | 第18-27页 |
| 2.1 聚焦离子束系统的构成 | 第18页 |
| 2.2 聚焦离子束的基本功能 | 第18-20页 |
| 2.3 聚焦离子束与固体材料表面的相互作用 | 第20-24页 |
| 2.3.1 离子束与固体材料表面的相互作用 | 第20-21页 |
| 2.3.2 离子在固体中的能量损失 | 第21-22页 |
| 2.3.3 离子在固体材料中的射程 | 第22-23页 |
| 2.3.4 沟道效应 | 第23-24页 |
| 2.4 聚焦离子束溅射产额 | 第24-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 基于SRIM的离子束溅射仿真过程 | 第27-35页 |
| 3.1 SRIM仿真软件 | 第27页 |
| 3.2 离子入射能量对材料溅射过程的影响 | 第27-31页 |
| 3.2.1 离子入射能量对平均溅射产额的影响 | 第27-28页 |
| 3.2.2 离子入射能量对材料损伤深度的影响 | 第28-31页 |
| 3.3 离子入射角度对靶材溅射过程的影响 | 第31-33页 |
| 3.4 离子束溅射纳米孪晶金刚石材料的能量损失 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 FIB铣削纳米孪晶金刚石微结构 | 第35-50页 |
| 4.1 FIB铣削的实验设备 | 第35-36页 |
| 4.2 纳米孪晶金刚石材料的抛光 | 第36-38页 |
| 4.3 直线槽微结构的FIB铣削 | 第38-48页 |
| 4.3.1 束流大小对FIB铣削ntD的影响 | 第38-41页 |
| 4.3.2 驻留时间对FIB铣削ntD的影响 | 第41-43页 |
| 4.3.3 束流搭接比对FIB铣削ntD的影响 | 第43-46页 |
| 4.3.4 入射电压对FIB铣削ntD的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.5 水蒸气辅助对离子束铣削ntD的影响 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 FIB加工纳米孪晶金刚石微刀具 | 第50-60页 |
| 5.1 微刀具的设计 | 第50-51页 |
| 5.1.1 刀具需求分析 | 第50页 |
| 5.1.2 刀具形状设计 | 第50页 |
| 5.1.3 刀具尺寸设计 | 第50-51页 |
| 5.2 微刀具的加工步骤 | 第51-53页 |
| 5.2.1 锋利刃口的形成 | 第51-52页 |
| 5.2.2 微刀具的制备流程 | 第52-53页 |
| 5.3 微刀具的制备 | 第53-54页 |
| 5.4 纳米刃口轮廓测量 | 第54-59页 |
| 5.4.1 探针展宽效应的影响 | 第55-56页 |
| 5.4.2 AFM测量微刀具的刃口 | 第56-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 总结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |