大面积亚波长光栅的制造和应用

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-12页
1.1 课题研究背景与意义	第8-9页
1.2 课题研究现状	第9-11页
1.3 本论文的研究内容	第11-12页
2 亚波长光栅的衍射特性与模型分析	第12-20页
2.1 亚波长光栅的衍射特性	第12-13页
2.2 导模共振效应和理论模型	第13-18页
2.3 模拟仿真	第18-19页
2.4 小结	第19-20页
3 大面积亚波长光栅模板的制作	第20-29页
3.1 硅模板的制作	第20-24页
3.2 IPS软模板的制作	第24-26页
3.3 金属模板的制作	第26-27页
3.4 本章小结	第27-29页
4 亚波长光栅模板性能测试	第29-41页
4.1 硅模板的测试	第29-32页
4.2 IPS软膜的测试	第32-38页
4.3 镍模板的测试	第38-40页
4.4 本章小结	第40-41页
5 用于动物活体组织显微的亚波长光栅微尺模板制作	第41-46页
5.1 亚波长衍射光栅微尺	第41页
5.2 微尺硅模板的制作	第41-43页
5.3 微尺IPS软模板的制作	第43-44页
5.4 本章小结	第44-46页
6 总结与展望	第46-49页
致谢	第49-51页
参考文献	第51-55页