| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 微细超声加工研究现状 | 第12页 |
| 1.2 硬脆材料加工研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.1 常见的硬脆材料加工工艺研究进展 | 第12-14页 |
| 1.2.2 超声在硬脆材料加工方面的研究和进展 | 第14-15页 |
| 1.3 课题的研究背景 | 第15页 |
| 1.4 课题研究目的及内容 | 第15-16页 |
| 1.5 内容安排 | 第16-18页 |
| 第二章 氧化锆陶瓷超声加工试验系统设计 | 第18-48页 |
| 2.1 微细超声加工试验系统组成 | 第18-24页 |
| 2.1.1 超声振动系统组成 | 第18-21页 |
| 2.1.2 控制系统组成 | 第21-24页 |
| 2.2 超声振动系统设计 | 第24-37页 |
| 2.2.1 换能器设计 | 第24-33页 |
| 2.2.2 变幅杆设计 | 第33-37页 |
| 2.2.3 工具头设计 | 第37页 |
| 2.3 超声电源上位机控制系统设计 | 第37-43页 |
| 2.3.1 超声电源上位机界面的设计 | 第37-41页 |
| 2.3.2 超声电源上位机界面和超声电源之间的硬件连接 | 第41页 |
| 2.3.3 超声电源上位机界面与电源的通讯 | 第41-43页 |
| 2.4 超声加工机床控制系统设计 | 第43-47页 |
| 2.4.1 超声加工机床触摸屏界面设计 | 第43-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 氧化锆陶瓷超声加工试验系统构建 | 第48-59页 |
| 3.1 试验系统构建概述 | 第48-49页 |
| 3.2 超声振动系统性能测试 | 第49-53页 |
| 3.2.1 变幅杆性能测试与修正 | 第49-50页 |
| 3.2.2 超声振动系统性能测试 | 第50-53页 |
| 3.3 超声加工试验系统控制流程 | 第53-54页 |
| 3.4 超声电源控制算法及其优化 | 第54-56页 |
| 3.5 超声加工机床PLC控制算法及优化 | 第56-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 氧化锆陶瓷微细阵列孔加工试验设计及结果分析 | 第59-69页 |
| 4.1 试验方案设计 | 第59-60页 |
| 4.2 实验结果分析 | 第60-65页 |
| 4.2.1 信时长脉数比对材料去除速率的影响 | 第60-61页 |
| 4.2.2 单次加工时间对材料去除速率的影响 | 第61-62页 |
| 4.2.3 电流大小对材料去除速率的影响 | 第62-63页 |
| 4.2.4 阻抗阈值对材料去除速率的影响 | 第63-64页 |
| 4.2.5 机床进给速度对材料去除速率的影响 | 第64页 |
| 4.2.6 磨料粒径对材料去除速率的影响 | 第64-65页 |
| 4.3 氧化锆陶瓷基板微细阵列孔加工 | 第65-68页 |
| 4.3.1 K9玻璃试加工 | 第65-66页 |
| 4.3.2 氧化陶瓷基板微细阵列孔加工 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 论文主要工作 | 第69页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 在读研期间的研究成果及发表的学术论文 | 第77页 |