| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第14-19页 |
| 1.2.1 柔性铰链机构研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.2 微定位平台驱动控制研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 微动平台的动态特性调节方式研究 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 振动系统的动力学分析 | 第21-27页 |
| 2.2.1 改变激励力幅匹配系统响应的振幅 | 第23-24页 |
| 2.2.2 改变固有频率匹配系统响应的振幅 | 第24-25页 |
| 2.2.3 复合调节匹配系统响应的振幅 | 第25-26页 |
| 2.2.4 动态匹配系统响应的振幅 | 第26-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于柔性铰链的微动平台优化设计 | 第28-39页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 频率可调设计思想的由来 | 第28-29页 |
| 3.3 微动平台的结构设计 | 第29-31页 |
| 3.4 调节机构的优化设计 | 第31-34页 |
| 3.4.1 COMSOLMultiphysics参数化建模 | 第32-33页 |
| 3.4.2 MATLAB仿真优化 | 第33-34页 |
| 3.5 微动平台的有限元分析 | 第34-37页 |
| 3.5.1 静力位移分析 | 第34-36页 |
| 3.5.2 频率分析 | 第36页 |
| 3.5.3 平台阶跃响应仿真 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 微动平台的定位控制 | 第39-48页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 控制系统设计 | 第39-44页 |
| 4.2.1 音圈电机建模 | 第40-41页 |
| 4.2.2 反馈控制器设计 | 第41-42页 |
| 4.2.3 压电陶瓷建模 | 第42-43页 |
| 4.2.4 调节机构建模 | 第43-44页 |
| 4.3 控制系统的阶跃响应仿真 | 第44页 |
| 4.4 非对称S型曲线运动规划 | 第44-47页 |
| 4.4.1 PVT运动模式介绍 | 第45-46页 |
| 4.4.2 上位控制系统开发 | 第46-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 微动平台的实验测试 | 第48-59页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 微动平台的性能测试 | 第48-56页 |
| 5.2.1 硬件系统介绍 | 第49-52页 |
| 5.2.2 阶跃响应测试 | 第52-54页 |
| 5.2.3 固有频率测试 | 第54-56页 |
| 5.2.4 位移特性测试 | 第56页 |
| 5.3 固有频率匹配测试 | 第56-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |