| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·超级化学镀铜定义 | 第11页 |
| ·超级化学镀铜关键问题 | 第11-12页 |
| ·超级化学镀铜研究背景、进展 | 第12-15页 |
| ·研究意义及内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验方法 | 第17-23页 |
| ·实验材料 | 第17页 |
| ·实验流程 | 第17-20页 |
| ·平面化学镀铜的实验流程 | 第17-18页 |
| ·超级化学镀铜的实验流程 | 第18-19页 |
| ·镀覆实验结果的评价 | 第19-20页 |
| ·镀液的电化学分析 | 第20页 |
| ·实验原理 | 第20页 |
| ·实验方法 | 第20页 |
| ·实验试剂及设备 | 第20-23页 |
| ·实验试剂 | 第20-21页 |
| ·实验设备 | 第21-23页 |
| 第3章 单独添加EPE-8000实现超级化学铜填充 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·EPE-8000的结构式 | 第23-24页 |
| ·不同浓度的EPE-8000对化学镀铜沉积速率的影响 | 第24页 |
| ·EPE-8000对道沟填充的影响 | 第24-27页 |
| ·1.0mg/L的EPE-8000对不同道沟的超级化学铜填充 | 第25-26页 |
| ·道沟的超级化学镀铜填充过程 | 第26-27页 |
| ·EPE-8000对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第27-29页 |
| ·EPE-8000对化学镀层的影响 | 第29-32页 |
| ·EPE-8000对化学沉积铜膜表面粗糙度的影响 | 第29-30页 |
| ·EPE-8000对化学镀铜膜的性能影响分析 | 第30-31页 |
| ·EPE-8000对化学镀铜膜光亮度的影响 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 添加新的抑制剂PEP-3100实现超级化学镀铜 | 第33-45页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·PEP-3100的结构式 | 第33页 |
| ·PEP-3100对化学镀铜沉积速率的影响 | 第33-34页 |
| ·PEP-3100对道沟填充的影响 | 第34-37页 |
| ·PEP-3100对不同道沟的超级化学铜填充 | 第34-36页 |
| ·道沟的超级化学镀铜填充过程 | 第36-37页 |
| ·PEP-3100对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第37-39页 |
| ·添加剂对化学镀液与铜皮间接触角的影响 | 第39-41页 |
| ·实验方法 | 第39页 |
| ·实验原理 | 第39-40页 |
| ·实验结果 | 第40-41页 |
| ·PEP-3100对化学镀层的影响 | 第41-43页 |
| ·PEP-3100对化学沉积铜膜表面粗糙度的影响 | 第41-42页 |
| ·PEP-3100对镀层表面形貌影响 | 第42页 |
| ·PEP-3100对镀层结构的影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第5章 研究PEG、PPG和它们三段共聚物对超级化学铜填充的影响 | 第45-53页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·PEG、PPG、PEG-PPG嵌段共聚物的结构式 | 第45-46页 |
| ·三种共聚物对化学镀铜沉积速率的影响 | 第46页 |
| ·各种添加剂对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第46-48页 |
| ·比较不同的聚醚分子对道沟填充的影响 | 第48-49页 |
| ·不同聚醚对化学镀层形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·不同聚醚对化学镀铜膜光亮度的影响 | 第50页 |
| ·小结 | 第50-53页 |
| 第6章 设计和实现新体系的超级化学镀铜 | 第53-63页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·SPS和PEG-4000对化学镀铜沉积速率的影响 | 第53-55页 |
| ·添加剂对道沟填充的影响 | 第55-58页 |
| ·添加剂对不同道沟的超级化学铜填充 | 第55-56页 |
| ·道沟的超级化学镀铜填充过程 | 第56-58页 |
| ·添加剂对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第58-59页 |
| ·添加剂对化学镀层的影响 | 第59-61页 |
| ·添加剂对化学沉积铜膜表面粗糙度的影响 | 第59-60页 |
| ·添加剂对镀层结构的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第7章 二氧化锰/硫酸微蚀体系下超声辅助条件改善ABS塑料板和化学铜膜的粘结强度 | 第63-73页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·实验部分 | 第63-65页 |
| ·实验材料 | 第63-64页 |
| ·实验步骤 | 第64-65页 |
| ·硫酸浓度对ABS表面微蚀的影响 | 第65-66页 |
| ·超声时间对ABS表面微蚀的影响 | 第66-70页 |
| ·超声时间对剥落强度和接触角的影响 | 第70-72页 |
| ·不同超声时间对粘结强度的影响 | 第70-71页 |
| ·不同超声时间对接触角的影响 | 第71-72页 |
| ·剥落后铜膜界面的表面成分分析 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 全文总结 | 第73-77页 |
| 参考文献 | 第77-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第87页 |
