多晶硅薄膜晶体管低频噪声的建模与表征

中文摘要	第4-5页
Abstract	第5页
第一章 绪论	第7-14页
1.1 多晶硅薄膜晶体管技术简介	第7-9页
1.2 实验样品器件的制备工艺	第9-10页
1.3 低频噪声研究现状简述	第10-11页
1.4 论文主要工作及结构安排	第11-12页
参考文献	第12-14页
第二章 半导体器件噪声的机制	第14-26页
2.1 噪声基础简介	第14页
2.2 半导体器件噪声分类	第14-18页
2.3 1/f 噪声模型	第18-24页
2.4 本章小结	第24页
参考文献	第24-26页
第三章 低频噪声的测试	第26-33页
3.1 测试系统介绍	第26-29页
3.2 测试操作流程	第29-30页
3.3 测试结果	第30-32页
3.4 本章小结	第32-33页
第四章 多晶硅薄膜晶体管低频噪声建模	第33-50页
4.1 模型的推导	第33-40页
4.2 器件参数的提取	第40-45页
4.3 模型的验证	第45-46页
4.4 基于模型的器件表征	第46-48页
4.5 本章小结	第48-49页
参考文献	第49-50页
第五章 结论及未来工作	第50-51页
攻读硕士学位期间发表的论文	第51-52页
致谢	第52-53页