光学共焦显微镜振镜扫描策略研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的背景、目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 光学共焦显微技术简介 | 第11页 |
| 1.2.2 光束扫描常用扫描器件简介 | 第11-12页 |
| 1.2.3 光学共焦显微技术扫描策略研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 光学共焦显微三维扫描成像畸变分析 | 第18-27页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 光学共焦显微三维扫描成像原理 | 第18-22页 |
| 2.2.1 薄透镜菲涅尔衍射分析 | 第18-21页 |
| 2.2.2 光学共焦显微三维成像原理 | 第21-22页 |
| 2.3 检流式振镜系统横向扫描畸变分析 | 第22-26页 |
| 2.3.1 光学系统畸变简介 | 第22-23页 |
| 2.3.2 检流式振镜系统横向扫描畸变分析 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 圆周扫描策略研究 | 第27-49页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 检流式振镜系统组成与工作原理 | 第27-28页 |
| 3.3 检流式振镜系统控制模型与仿真 | 第28-36页 |
| 3.3.1 检流式振镜系统控制模型建立与分析 | 第28-32页 |
| 3.3.2 检流式振镜系统控制模型仿真 | 第32-36页 |
| 3.4 传统光栅式扫描策略分析 | 第36-39页 |
| 3.4.1 光栅式扫描策略扫描视场小 | 第36页 |
| 3.4.2 光栅式扫描策略扫描速度慢 | 第36-37页 |
| 3.4.3 光栅式扫描策略数据有效利用率低 | 第37页 |
| 3.4.4 光栅式扫描策略可靠性提高困难 | 第37-39页 |
| 3.5 圆周扫描策略研究 | 第39-48页 |
| 3.5.1 圆周扫描策略基本介绍 | 第39-40页 |
| 3.5.2 圆周扫描策略实现与分析 | 第40-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 光学共焦显微镜振镜扫描单元设计 | 第49-66页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 光学共焦显微镜扫描单元硬件设计 | 第49-55页 |
| 4.2.1 扫描单元光路设计 | 第49-50页 |
| 4.2.2 扫描单元机械设计 | 第50-55页 |
| 4.2.3 扫描单元控制系统设计 | 第55页 |
| 4.3 光学共焦显微镜振镜扫描单元测量软件设计 | 第55-65页 |
| 4.3.1 三维扫描模块 | 第55-58页 |
| 4.3.2 倾斜校正模块 | 第58-60页 |
| 4.3.3 数据存储与处理模块 | 第60-61页 |
| 4.3.4 台阶高度计算模块 | 第61-63页 |
| 4.3.5 测量软件主程序设计 | 第63-64页 |
| 4.3.6 测量软件人机交互设计 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 共焦显微系统计量特性测量实验与分析 | 第66-75页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 共焦显微系统计量特性测试 | 第66-73页 |
| 5.2.1 系统噪声测试 | 第66-68页 |
| 5.2.2 平面度误差测试 | 第68-69页 |
| 5.2.3 轴向放大率和线性度测试 | 第69-71页 |
| 5.2.4 横向扫描畸变测试 | 第71-73页 |
| 5.3 圆周扫描策略测量标准样品 | 第73-74页 |
| 5.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
