| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 气体传感器控制电路概述 | 第8-9页 |
| 1.2 微热板气体传感器及其控温技术 | 第9-14页 |
| 1.2.1 微热板气体传感器的发展 | 第9-10页 |
| 1.2.2 传感器探测系统的一般架构 | 第10-11页 |
| 1.2.3 传感器控温电路的发展 | 第11-14页 |
| 1.3 本文研究的主要工作 | 第14-16页 |
| 2 微热板的热学模型 | 第16-24页 |
| 2.1 微热板的结构和工作原理 | 第16-17页 |
| 2.2 微热板的热学特性 | 第17-21页 |
| 2.2.1 微热板工作温度分布情况 | 第17-18页 |
| 2.2.2 微热板的温阻系数 | 第18-19页 |
| 2.2.3 微热板的稳态热分析与瞬态热分析 | 第19-21页 |
| 2.3 基于Verilog-A的微热板热学模型 | 第21-24页 |
| 2.3.1 Verilog-A描述的微热板热学模型 | 第21-22页 |
| 2.3.2 微热板热学模型仿真 | 第22-24页 |
| 3 控温芯片设计与仿真 | 第24-51页 |
| 3.1 控温电路整体设计 | 第24-27页 |
| 3.1.1 控温电路整体设计 | 第24-26页 |
| 3.1.2 控温电路设计指标 | 第26-27页 |
| 3.2 带隙基准电流源 | 第27-35页 |
| 3.2.1 带隙基准源的原理 | 第28-29页 |
| 3.2.2 带隙电压基准电路结构设计 | 第29-31页 |
| 3.2.3 带隙基准电路仿真 | 第31-35页 |
| 3.3 比较器电路 | 第35-37页 |
| 3.3.1 比较器电路设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 比较器电路仿真 | 第36-37页 |
| 3.4 信号调理电路 | 第37-38页 |
| 3.4.1 信号调理电路设计 | 第37-38页 |
| 3.4.2 信号调理电路仿真 | 第38页 |
| 3.5 信号放大电路 | 第38-40页 |
| 3.5.1 信号放大电路设计 | 第38-39页 |
| 3.5.2 信号放大电路仿真 | 第39-40页 |
| 3.6 控温电路整体仿真 | 第40-42页 |
| 3.7 版图设计 | 第42-49页 |
| 3.7.1 版图设计流程与注意事项 | 第42-46页 |
| 3.7.2 各个模块与整体电路的版图实现 | 第46-49页 |
| 3.8 流片加工 | 第49-51页 |
| 4 控温芯片功能测试 | 第51-65页 |
| 4.1 片测试系统硬件设计 | 第51-56页 |
| 4.1.1 测试系统架构和主要功能 | 第51-53页 |
| 4.1.2 主要测试模块硬件设计 | 第53-56页 |
| 4.2 片功能测试 | 第56-65页 |
| 4.2.1 测试数据处理原理 | 第56-57页 |
| 4.2.2 DUT10温度控制情况 | 第57-58页 |
| 4.2.3 DUT10温度控制影响因素 | 第58-60页 |
| 4.2.4 DUT13温度控制情况 | 第60-62页 |
| 4.2.5 DUT13温度调制测试 | 第62-63页 |
| 4.2.6 DUT13变温坏境测试 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |