| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 飞秒激光的加工特点与应用 | 第10-13页 |
| 1.1.1 飞秒激光加工特点 | 第10页 |
| 1.1.2 飞秒激光的主要应用 | 第10-13页 |
| 1.2 飞秒激光金属表面着色研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 飞秒激光诱导加工微纳光栅与应用 | 第16-18页 |
| 1.3.1 飞秒激光诱导加工微纳光栅的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3.2 亚波长光栅应用于MSM光电探测器的研究现状 | 第18页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第18-20页 |
| 第二章 飞秒激光实验加工系统及仿真软件介绍 | 第20-29页 |
| 2.1 实验加工系统与装置 | 第20-23页 |
| 2.1.1 飞秒激光实验加工系统 | 第20-21页 |
| 2.1.2 实验装置 | 第21-23页 |
| 2.2 仿真软件FDTD Solutions | 第23-28页 |
| 2.2.1 时域有限差分法(FDTD) | 第23-27页 |
| 2.2.2 FDTD Solutions软件介绍 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 圆偏振飞秒激光制备铁表面结构及色彩分析 | 第29-48页 |
| 3.1 飞秒激光在金属表面制作微纳光栅结构 | 第29-34页 |
| 3.2 基于FDTD的不同金属表面光栅陷光性能研究 | 第34-41页 |
| 3.2.1 结构设计与数学模型 | 第34-35页 |
| 3.2.2 仿真实验及分析 | 第35-41页 |
| 3.3 圆偏振飞秒激光加工纯铁样品结果与分析 | 第41-43页 |
| 3.4 白光照射样品表面不同色彩对比分析 | 第43-44页 |
| 3.5 光谱分析铁表面色彩变化 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 基于亚波长金属光栅结构的MSM光电探测器的结构优化设计 | 第48-62页 |
| 4.1 表面等离子体相关理论 | 第48-54页 |
| 4.1.1 金属色散模型 | 第48-49页 |
| 4.1.2 金属-介质界面激发表面等离子体 | 第49-53页 |
| 4.1.3 金属-介质-金属色散模型 | 第53-54页 |
| 4.1.4 金属-介质-金属的亚波长狭缝折射率 | 第54页 |
| 4.2 增强MSM-PD吸收性能两种机制 | 第54-56页 |
| 4.3 金属-半导体-金属光电探测器结构与模型建立 | 第56-57页 |
| 4.4 铝纳米光栅辅助的MSM光电探测器的参数优化与分析 | 第57-61页 |
| 4.4.1 金属光栅占空比对探测器性能的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.2 金属光栅厚度对探测器性能的影响 | 第59-60页 |
| 4.4.3 亚波长孔径间距对探测器性能的影响 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73页 |
