ZnO纳米线操控的关键工艺及其传感应用研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-21页 |
| 1.2 纳米操控技术的研究现状 | 第21-27页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第27-29页 |
| 2 纳米操作臂制备工艺 | 第29-45页 |
| 2.1 前言 | 第29页 |
| 2.2 纳米操作臂制备原理 | 第29-36页 |
| 2.3 纳米操作臂制备装置设计 | 第36-39页 |
| 2.4 纳米操作臂制备工艺优化 | 第39-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 3 纳米焊接工艺 | 第45-58页 |
| 3.1 前言 | 第45页 |
| 3.2 电子束诱导沉积原理 | 第45-50页 |
| 3.3 基于电子束诱导沉积的纳米焊接方法工艺 | 第50-54页 |
| 3.4 纳米焊接应用与强度测试 | 第54-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 4 电控纳米镊子 | 第58-78页 |
| 4.1 前言 | 第58页 |
| 4.2 电控纳米镊子设计及动力学测试分析 | 第58-71页 |
| 4.3 纳米线静电力作用模型及放置操控应用 | 第71-75页 |
| 4.4 电控纳米镊子的应用 | 第75-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 5 单根ZnO纳米线应变特性及其传感模型 | 第78-88页 |
| 5.1 前言 | 第78-79页 |
| 5.2 ZnO纳米线的应变特性 | 第79-81页 |
| 5.3 ZnO纳米线应变传感模型 | 第81-82页 |
| 5.4 ZnO纳米线应变传感模型验证 | 第82-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 6 操控方法及工艺的应用 | 第88-116页 |
| 6.1 前言 | 第88页 |
| 6.2 纳米操控系统建立 | 第88-91页 |
| 6.3 ZnO纳米线杨氏模量测试 | 第91-94页 |
| 6.4 ZnO纳米线电性能测试 | 第94-105页 |
| 6.5 ZnO纳米线应变下电性能变化测试方法 | 第105-107页 |
| 6.6 ZnO纳米线应变传感器封装制备 | 第107-115页 |
| 6.7 本章小结 | 第115-116页 |
| 7 总结与展望 | 第116-118页 |
| 7.1 全文总结 | 第116-117页 |
| 7.2 研究展望 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-130页 |
| 附录1：攻读博士学位期间的主要成果 | 第130页 |
