| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 引言 | 第8-11页 |
| 2 硅太阳能电池原理及硅表面钝化 | 第11-33页 |
| 2.1 硅太阳能电池原理 | 第11-15页 |
| 2.1.1 平衡载流子与非平衡载流子 | 第11页 |
| 2.1.2 pn结 | 第11-12页 |
| 2.1.3 光生伏特 | 第12-13页 |
| 2.1.4 硅太阳能电池 | 第13-15页 |
| 2.1.5 非平衡载流子复合 | 第15页 |
| 2.2 硅太阳能电池表面钝化 | 第15-25页 |
| 2.2.1 硅片表面 | 第16-18页 |
| 2.2.2 硅片表面钝化机理 | 第18-19页 |
| 2.2.3 表面钝化在太阳能电池领域的应用 | 第19-20页 |
| 2.2.4 用于表面钝化的薄膜材料 | 第20-25页 |
| 2.3 Al_2O_3薄膜的生长方法 | 第25-28页 |
| 2.3.1 PECVD | 第25-26页 |
| 2.3.2 ALD | 第26-28页 |
| 2.4 Al_2O_3薄膜的性质及钝化机理 | 第28-29页 |
| 2.5 Al_2O_3薄膜运用于太阳能电池 | 第29-33页 |
| 2.5.1 Al_2O_3薄膜在p型太阳电池中的应用 | 第29-30页 |
| 2.5.2 Al_2O_3薄膜在n型太阳电池中的应用 | 第30-33页 |
| 3 沉积温度对Al_2O_3薄膜表面钝化效果的影响 | 第33-42页 |
| 3.1 TMA+O_3 | 第35-37页 |
| 3.2 TMA+H_2O_3 | 第37-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 Al_2O_3薄膜对不同导电类型c-Si钝化效果的影响 | 第42-56页 |
| 4.1 Al_2O_3薄膜制备 | 第42页 |
| 4.2 结果分析 | 第42-55页 |
| 4.2.1 FESEM | 第42-44页 |
| 4.2.2 XRD | 第44-47页 |
| 4.2.3 反射谱 | 第47-48页 |
| 4.2.4 少数载流子有效寿命 | 第48-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
