面向生物分子痕量探测的微纳流控芯片的设计与制备
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 纳流控芯片简介 | 第13-14页 |
| 1.1.1 纳流控芯片的由来 | 第13页 |
| 1.1.2 纳流控芯片的研究意义和应用价值 | 第13-14页 |
| 1.2 纳流控芯片加工技术 | 第14-22页 |
| 1.2.1 芯片制备常用材料 | 第14-16页 |
| 1.2.2 芯片加工工艺 | 第16-22页 |
| 1.3 牺牲层技术 | 第22-23页 |
| 1.4 纳流控芯片的应用 | 第23-26页 |
| 1.4.1 纳流控芯片在药物分析领域的应用 | 第23-24页 |
| 1.4.2 生物蛋白质富集 | 第24-26页 |
| 1.5 本文研究的内容及意义 | 第26-29页 |
| 第2章 痕量分子探测芯片的设计 | 第29-39页 |
| 2.1 芯片功能的实现 | 第29页 |
| 2.2 芯片结构的设计 | 第29-38页 |
| 2.2.1 纳流控二极管工作过程 | 第29-31页 |
| 2.2.2 通道图形设计 | 第31-36页 |
| 2.2.3 通道尺寸的设计 | 第36-38页 |
| 2.3 小结 | 第38-39页 |
| 第3章 芯片的制备与表征 | 第39-55页 |
| 3.1 芯片制备前的准备工作 | 第39-41页 |
| 3.1.1 芯片基片材料的选择 | 第39页 |
| 3.1.2 纳流控芯片制备过程设计 | 第39-40页 |
| 3.1.3 紫外光刻及湿法刻蚀工艺 | 第40-41页 |
| 3.2 芯片制备实验过程 | 第41-47页 |
| 3.2.1 试剂材料、溶液配制以及仪器装置 | 第41-43页 |
| 3.2.2 纳米芯片的制作 | 第43-47页 |
| 3.3 芯片通道的测量与表征 | 第47-54页 |
| 3.3.1 纳米通道沟槽的表征 | 第47-53页 |
| 3.3.2 不同刻蚀时间纳片与微片的测量结果 | 第53-54页 |
| 3.4 小结 | 第54-55页 |
| 第4章 玻璃-玻璃封接工艺 | 第55-67页 |
| 4.1 玻璃与玻璃的封接工艺介绍 | 第55-58页 |
| 4.2 玻璃热键合封合 | 第58-62页 |
| 4.3 封接结果及分析 | 第62-65页 |
| 4.4 小结 | 第65-67页 |
| 第5章 PDMS-玻璃封接工艺 | 第67-75页 |
| 5.1 PDMS-玻璃封接工艺概述 | 第67页 |
| 5.2 PDMS-玻璃封接过程 | 第67-71页 |
| 5.3 PDMS封接结果及其分析 | 第71-72页 |
| 5.4 小结 | 第72-75页 |
| 第6章 芯片的显微注液结果 | 第75-81页 |
| 6.1 芯片注液结果及分析 | 第75-79页 |
| 6.1.1 玻璃-玻璃封合芯片的注液测试 | 第76-78页 |
| 6.1.2 PDMS-玻璃封合芯片的注液测试 | 第78-79页 |
| 6.2 微纳流控芯片的组装 | 第79-81页 |
| 第7章 结论与展望 | 第81-83页 |
| 7.1 结论 | 第81-82页 |
| 7.2 展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
