基于交变电场的精密角位移测量方法与实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 本文的研究背景、来源和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第12-15页 |
| 2 电场式圆时栅工作原理 | 第15-24页 |
| 2.1 时空转换测量理论 | 第15-16页 |
| 2.2 机械式时栅原理 | 第16-17页 |
| 2.3 磁场式时栅原理 | 第17-18页 |
| 2.4 电场式圆时栅测量原理 | 第18-22页 |
| 2.4.1 传感器结构 | 第18-19页 |
| 2.4.2 传感器测量原理 | 第19-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-24页 |
| 3 电场仿真与分析 | 第24-40页 |
| 3.1 概述 | 第24页 |
| 3.2 ANSYS MAXWELL介绍 | 第24-25页 |
| 3.3 电场的有限元法分析原理 | 第25-28页 |
| 3.3.1 静电场的微分方程 | 第25-26页 |
| 3.3.2 电场的边界条件 | 第26页 |
| 3.3.3 电场的有限元方程 | 第26-28页 |
| 3.4 传感器电场仿真与分析 | 第28-39页 |
| 3.4.1 二维仿真模型的建立 | 第28-29页 |
| 3.4.2 动尺极片上的电场分布与分析 | 第29页 |
| 3.4.3 定极片上的电场分布与分析 | 第29-32页 |
| 3.4.4 引线上的电场分布与分析 | 第32-36页 |
| 3.4.5 极片间缝的电场分布与分析 | 第36-37页 |
| 3.4.6 动定尺不同间隙仿真分析 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 实验系统平台搭建 | 第40-52页 |
| 4.1 实验环境 | 第40页 |
| 4.2 RPI精密气浮转台 | 第40-42页 |
| 4.3 PI精密六自由度定位平台 | 第42-44页 |
| 4.4 激励信号系统 | 第44-46页 |
| 4.5 信号采集系统 | 第46-47页 |
| 4.6 信号处理系统 | 第47-50页 |
| 4.7 上位机软件设计 | 第50-51页 |
| 4.8 实验系统平台 | 第51页 |
| 4.9 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 实验验证与分析 | 第52-68页 |
| 5.1 传感器结构与参数实验与分析 | 第52-62页 |
| 5.1.1 传感器动尺相关实验 | 第52-55页 |
| 5.1.2 传感器定尺引线相关实验 | 第55-57页 |
| 5.1.3 引线屏蔽实验 | 第57-58页 |
| 5.1.4 定尺底层引线实验 | 第58页 |
| 5.1.5 减小定尺缝宽实验 | 第58-59页 |
| 5.1.6 减小定尺宽度实验 | 第59-60页 |
| 5.1.7 加大动定尺间隙高度实验 | 第60-61页 |
| 5.1.8 增大激励信号幅值实验 | 第61-62页 |
| 5.2 传感器驻波变化规律研究 | 第62-64页 |
| 5.3 传感器对极点误差实验 | 第64-65页 |
| 5.4 稳定性实验 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第76-77页 |
