| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 常见非易失性存储器的结构与分类简介 | 第11-14页 |
| 1.2 电阻开关存储器的研究背景与现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 电阻开关存储器的结构与分类 | 第14-15页 |
| 1.2.2 电阻开关存储器的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 电阻开关存储器存储原理简介 | 第16-17页 |
| 1.2.4 研究中存在主要问题 | 第17-18页 |
| 1.3 金属基底上NiO薄膜电阻开关特性的研究背景和现状 | 第18页 |
| 1.4 本文的研究目的、内容和意义 | 第18-21页 |
| 第2章 薄膜的制备与微结构表征 | 第21-24页 |
| 2.1 磁控溅射制备薄膜原理简介 | 第21页 |
| 2.2 Ag/NiO_x/Pt存储单元的制备 | 第21-22页 |
| 2.3 薄膜微结构表征方法原理简介 | 第22-23页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第22页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第22页 |
| 2.3.3 X射线光电子能谱分析(XPS) | 第22-23页 |
| 2.3.4 原子力显微镜(AFM) | 第23页 |
| 2.3.5 透射电子显微镜(TEM) | 第23页 |
| 2.4 薄膜电学性能测试方法 | 第23-24页 |
| 第3章 NiO_x多晶薄膜的微结构表征、变温电阻开关特性与隧穿机制研究 | 第24-32页 |
| 3.1 NiO_x多晶薄膜的微结构表征 | 第24-25页 |
| 3.2 NiO_x多晶薄膜的变温电阻开关特性研究 | 第25-29页 |
| 3.2.1 室温下NiO_x多晶薄膜的电阻开关特性 | 第25-26页 |
| 3.2.2 NiO_x多晶薄膜的变温电阻开关特性研究 | 第26-29页 |
| 3.3 NiO_x多晶薄膜的隧穿机制研究 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 NiO(111)外延薄膜的微结构、变温电阻开关特性与隧穿机制研究 | 第32-41页 |
| 4.1 Pt(100)种子层制备参数的优化确定 | 第32-33页 |
| 4.2 NiO(111)外延薄膜微结构观测表征 | 第33-36页 |
| 4.2.1 NiO(111)外延薄膜的晶体结构XRD分析 | 第33-34页 |
| 4.2.2 NiO(111)外延薄膜表面形貌观测分析 | 第34-36页 |
| 4.3 NiO(111)外延薄膜的电阻开关特性研究 | 第36-38页 |
| 4.3.1 NiO(111)外延薄膜的室温电阻开关特性研究 | 第36-37页 |
| 4.3.2 NiO(111)外延薄膜的变温电阻开关特性研究 | 第37-38页 |
| 4.4 NiO(111)外延薄膜的变温电流隧穿机制研究 | 第38-39页 |
| 4.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第5章 NiO(100)外延薄膜的微结构、变温电阻开关特性与隧穿机制研究 | 第41-53页 |
| 5.1 NiO(100)外延薄膜的微结构表征 | 第41-46页 |
| 5.1.1 NiO(100)外延薄膜晶体结构表征 | 第41-42页 |
| 5.1.2 NiO(100)外延薄膜的表面形貌和界面微结构 | 第42-45页 |
| 5.1.3 NiO(100)外延薄膜化学成分XPS分析 | 第45-46页 |
| 5.2 NiO(100)外延薄膜的电阻开关特性研究 | 第46-50页 |
| 5.2.1 NiO(100)外延薄膜的室温电阻开关特性研究 | 第46-47页 |
| 5.2.2 NiO(100)外延薄膜的变温电阻开关特性研究 | 第47-48页 |
| 5.2.3 NiO(100)外延薄膜的变温电流隧穿特性 | 第48-50页 |
| 5.3 NiO外延薄膜电阻翻转的物理机制研究 | 第50-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第6章 结论和展望 | 第53-56页 |
| 6.1 本文所得的主要结论 | 第53-54页 |
| 6.2 未来的研究计划和展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-66页 |
| 硕士期间发表论文与参加学术活动 | 第66页 |
| 参加学术活动情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
