超薄过渡金属硫化物气敏光敏传感器件研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-20页 |
| 1.2.1 二维TMDCs简介 | 第10-12页 |
| 1.2.2 二维TMDCs制备方法概述 | 第12-15页 |
| 1.2.3 光敏特性研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.4 气敏特性研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 研究意义 | 第20-21页 |
| 1.4 论文主要工作与结构安排 | 第21-22页 |
| 第二章 高结晶性WS_2薄膜光敏性能研究 | 第22-34页 |
| 2.1 高结晶性WS_2薄膜制备与表征 | 第22-29页 |
| 2.1.1 薄膜制备 | 第22-23页 |
| 2.1.2 材料表征 | 第23-29页 |
| 2.2 WS_2薄膜硬质光探测器件研究 | 第29-31页 |
| 2.2.1 器件制备 | 第29页 |
| 2.2.2 器件性能 | 第29-31页 |
| 2.3 WS_2薄膜柔性光探测器件研究 | 第31-33页 |
| 2.3.1 器件制备 | 第31-32页 |
| 2.3.2 器件性能 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 多晶WS_2薄膜气敏性能研究 | 第34-50页 |
| 3.1 多晶WS_2薄膜制备与表征 | 第34-41页 |
| 3.1.1 薄膜制备 | 第34-35页 |
| 3.1.2 样品表征 | 第35-41页 |
| 3.2 器件制备 | 第41-42页 |
| 3.3 性能与分析 | 第42-49页 |
| 3.3.1 测试系统设计 | 第42-43页 |
| 3.3.2 测试结果与分析 | 第43-46页 |
| 3.3.3 敏感机理解释 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 二维WS_2薄膜透明柔性可拉伸湿度传感器 | 第50-62页 |
| 4.1 器件制备 | 第50-55页 |
| 4.1.1 制备流程 | 第50-52页 |
| 4.1.2 器件表征 | 第52-55页 |
| 4.2 器件性能 | 第55-57页 |
| 4.2.1 柔性性能 | 第55-56页 |
| 4.2.2 可拉伸性能 | 第56-57页 |
| 4.3 潜在应用 | 第57-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62-63页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第72-73页 |
