| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 图目录 | 第8-11页 |
| 表目录 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·非球面检测技术研究的意义 | 第12-13页 |
| ·非球面检测技术研究的现状 | 第13-20页 |
| ·非球面零位干涉检测法 | 第13-17页 |
| ·非球面非零位干涉检测法 | 第17-20页 |
| ·本论文的主要研究方向及完成的工作 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第21-22页 |
| 第二章 非球面部分补偿法干涉检测的原理 | 第22-38页 |
| ·非球面部分补偿检测法的系统光路布局 | 第22-23页 |
| ·对非球面进行部分补偿的部分零位镜(PNL) | 第23-28页 |
| ·可重构出非球面面形的逆向迭代优化重构技术(ROR) | 第28-37页 |
| ·光学设计软件中系统建模与优化 | 第28-33页 |
| ·基于系统建模的逆向迭代优化重构技术(ROR) | 第33-37页 |
| ·逆向迭代优化重构技术(ROR)与误差分析的关系 | 第37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第三章 非球面部分补偿检测系统误差分析与处理 | 第38-57页 |
| ·非球面部分补偿检测法系统误差分析 | 第39-53页 |
| ·器件加工参数偏差分析 | 第40页 |
| ·器件姿态误差分析 | 第40-53页 |
| ·其他系统误差分析 | 第53页 |
| ·随机误差 | 第53-54页 |
| ·系统误差的处理方法 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第四章 非球面部分补偿检测法的实验系统 | 第57-79页 |
| ·非球面部分补偿检测系统实验布局 | 第57-58页 |
| ·非球面部分补偿检测系统实验装调结果 | 第58-70页 |
| ·实验系统中器件加工后测量的实际参数 | 第58-60页 |
| ·实验系统中器件装调及精度 | 第60-65页 |
| ·实验系统中的辅助装置 | 第65-70页 |
| ·非球面部分补偿检测系统实验数据处理结果 | 第70-75页 |
| ·部分补偿检测系统实验数据处理及结果 | 第70-73页 |
| ·部分补偿检测系统的比对实验结果 | 第73-75页 |
| ·基于逆向优化函数的非球面顶点球曲率半径测量方法 | 第75-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 第五章 总结与展望 | 第79-82页 |
| ·本文所完成的工作 | 第79-80页 |
| ·对工作的可改进之处 | 第80-81页 |
| ·对工作的展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |