双扫描器宽范围原子力显微镜技术及系统
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·纳米科技概述 | 第12-13页 |
| ·扫描探针显微术的发展 | 第13-17页 |
| ·扫描隧道显微镜(STM)技术 | 第13-15页 |
| ·原子力显微镜(AFM)技术 | 第15-16页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)家族 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜的研究现状 | 第17页 |
| ·本课题的研究内容及研究成果 | 第17-20页 |
| 第二章 原子力显微镜基本原理与方法 | 第20-27页 |
| ·原子力作用机制 | 第20-21页 |
| ·原子力显微镜工作原理 | 第21页 |
| ·微探针及微偏转的检测方法 | 第21-24页 |
| ·AFM微探针 | 第21-22页 |
| ·微偏转的检测方法 | 第22-24页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第24-25页 |
| ·接触模式 | 第24-25页 |
| ·非接触模式 | 第25页 |
| ·轻敲模式 | 第25页 |
| ·AFM仪器技术及特点 | 第25-27页 |
| 第三章 双扫描器宽范围AFM新方法研究 | 第27-35页 |
| ·双扫描器总体方案 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷扫描方法 | 第28-30页 |
| ·压电效应及压电陶瓷推拉式控制方法 | 第28-29页 |
| ·新型压电扫描方法 | 第29-30页 |
| ·电控二维步进扫描方法 | 第30页 |
| ·AFM图像拼接技术 | 第30-35页 |
| ·特征提取与SIFT算法 | 第31-33页 |
| ·AFM序列图像的获取与拼接 | 第33-35页 |
| 第四章 双扫描器宽范围AFM系统研制 | 第35-59页 |
| ·系统总体设计 | 第35-37页 |
| ·压电扫描器研制 | 第37-40页 |
| ·压电陶瓷扫描器设计 | 第38-39页 |
| ·压电扫描驱动电路 | 第39-40页 |
| ·步进扫描器研制 | 第40-45页 |
| ·二维步进扫描台设计 | 第40-42页 |
| ·步进细分及脉冲时序 | 第42-43页 |
| ·步进扫描控制 | 第43-45页 |
| ·反馈控制电路 | 第45-48页 |
| ·PSD及前置放大电路 | 第45-47页 |
| ·PID反馈控制电路 | 第47-48页 |
| ·信号采集与控制 | 第48-50页 |
| ·双扫描器宽范围AFM扫描控制软件开发 | 第50-59页 |
| ·软件总体介绍 | 第50页 |
| ·扫描控制与成像部分 | 第50-54页 |
| ·AFM图像拼接部分 | 第54-58页 |
| ·图像处理及三维显示 | 第58-59页 |
| 第五章 双扫描器宽范围AFM的实验技术研究 | 第59-76页 |
| ·压电扫描实现纳米级分辨率 | 第59-63页 |
| ·多孔氧化铝的纳米结构图像 | 第59-60页 |
| ·硅基上锗膜的纳米结构图像 | 第60-62页 |
| ·微孔滤膜的纳米结构图像 | 第62-63页 |
| ·步进扫描器宽范围实验 | 第63-68页 |
| ·标准光栅的微结构图 | 第63-64页 |
| ·离子束刻蚀的石英玻璃微结构图 | 第64-68页 |
| ·AFM图像拼接实验研究 | 第68-76页 |
| ·压电扫描的序列图像拼接 | 第68-73页 |
| ·步进扫描的序列图像拼接 | 第73-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·研究工作总结 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 作者简介 | 第82页 |
| 硕士在读期间发表论文和完成工作情况 | 第82页 |
