一种基于光栅干涉的加速度计的设计与制作
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·传感器概述 | 第11-13页 |
| ·传感器的定义 | 第11-12页 |
| ·传感器的组成 | 第12页 |
| ·传感器的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·加速度计概述 | 第13-17页 |
| ·加速度计的定义 | 第13-14页 |
| ·加速度计的发展现状及趋势 | 第14-17页 |
| 第2章 加速度计基本理论 | 第17-25页 |
| ·加速度计数学模型 | 第17-20页 |
| ·加速度计种类 | 第20-23页 |
| ·压电式加速度计 | 第20-21页 |
| ·压阻式加速度计 | 第21-22页 |
| ·电容式加速度计 | 第22-23页 |
| ·加速度计的主要参数 | 第23-25页 |
| ·灵敏度 | 第23页 |
| ·噪声 | 第23页 |
| ·分辨率 | 第23-24页 |
| ·频率响应 | 第24页 |
| ·动态范围 | 第24-25页 |
| 第3章 加速度计的设计 | 第25-43页 |
| ·设计方案 | 第25-26页 |
| ·光栅衍射与干涉原理 | 第26-31页 |
| ·光栅衍射原理 | 第27-28页 |
| ·光栅平移 | 第28-29页 |
| ·光栅干涉 | 第29-31页 |
| ·惯性力传感原理 | 第31-34页 |
| ·惯性力敏感结构 | 第31-32页 |
| ·Cosmosworks软件仿真与测试 | 第32-34页 |
| ·相位生成载波(PGC)调制原理 | 第34-39页 |
| ·PGC基本原理 | 第35页 |
| ·PGC调制的实现 | 第35-37页 |
| ·调制结构的误差分析 | 第37-39页 |
| ·相位生成载波(PGC)解调原理 | 第39-43页 |
| ·PGC解调方法 | 第39-40页 |
| ·正交解调方法 | 第40-43页 |
| 第4章 加速度计的制备与装配 | 第43-57页 |
| ·正弦型振幅光栅的制备 | 第44-45页 |
| ·加速度计零部件的制备 | 第45-50页 |
| ·CNC雕刻技术 | 第45-46页 |
| ·弹簧膜片的加工与测试 | 第46-47页 |
| ·基座的加工 | 第47-50页 |
| ·加速度计的组装与调试 | 第50-57页 |
| ·激光点焊技术 | 第50-51页 |
| ·加速度计的装配步骤 | 第51-57页 |
| 第5章 实验测试与系统误差分析 | 第57-63页 |
| ·实验测试装置 | 第57-58页 |
| ·实验结果 | 第58-60页 |
| ·系统误差分析 | 第60-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 个人简历和学术论文成果 | 第71页 |
