| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·绝缘薄膜厚度检测简介 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-10页 |
| ·研究目的与可行性分析 | 第10页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第10-11页 |
| ·论文结构 | 第11-13页 |
| 第二章 薄膜厚度检测技术及原理 | 第13-25页 |
| ·用于薄膜厚度检测的光学检测技术 | 第13-16页 |
| ·干涉条纹法 | 第14页 |
| ·椭圆偏振法 | 第14-15页 |
| ·光谱法 | 第15-16页 |
| ·用于薄膜厚度检测的超声波检测技术 | 第16-18页 |
| ·基于脉冲反射式的传统超声波测厚法 | 第16-17页 |
| ·利用超声波反射系数来测量膜厚 | 第17-18页 |
| ·用于薄膜厚度检测的电学检测技术（电容检测技术） | 第18-23页 |
| ·电容传感器技术的工作原理 | 第19-21页 |
| ·利用电容传感器技术进行膜厚测量 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 相邻电容传感器设计 | 第25-47页 |
| ·相邻电容传感器的设计原则 | 第25-27页 |
| ·相邻电容传感器设计 | 第27-31页 |
| ·圆阵列相邻电容传感器 | 第27-28页 |
| ·多环型相邻电容传感器 | 第28-30页 |
| ·多螺旋盘形相邻电容传感器 | 第30-31页 |
| ·相邻电容传感器性能测试 | 第31-32页 |
| ·绝缘薄膜测厚实验 | 第32-46页 |
| ·电容的频率特性 | 第32-33页 |
| ·多螺旋盘形传感器参数设计对性能的影响 | 第33-42页 |
| ·应用 COMSOL 对六种结构不同的极板进行理论仿真 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 应用于绝缘薄膜厚度测量的系统设计 | 第47-61页 |
| ·应用于绝缘薄膜厚度测量系统硬件部分设计 | 第48-54页 |
| ·数据转换传输(Data Conversion) | 第48-52页 |
| ·绝缘薄膜厚度检测结果校正与显示 | 第52-54页 |
| ·应用于绝缘薄膜厚度测量系统软件部分设计 | 第54-58页 |
| ·SPI 模式下的数据采集与传输 | 第55-56页 |
| ·SPI 模式下的 EM 模块执行速度 | 第56-58页 |
| ·系统成本 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·存在的问题与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第69-70页 |