| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 图表目录 | 第14-18页 |
| 主要符号表 | 第18-19页 |
| 1 绪论 | 第19-37页 |
| ·课题的研究背景 | 第19-20页 |
| ·MEMS动态测试中的激励技术 | 第20-27页 |
| ·静电激励 | 第20-21页 |
| ·压电激励 | 第21-22页 |
| ·热激励 | 第22-24页 |
| ·声波激励 | 第24-25页 |
| ·底座激励 | 第25-27页 |
| ·其它激励方法 | 第27页 |
| ·MEMS动态测试中的振动检测技术 | 第27-32页 |
| ·频闪干涉测振技术 | 第28-29页 |
| ·计算机微视觉技术 | 第29-30页 |
| ·激光多普勒测振技术 | 第30-32页 |
| ·其它测振方法 | 第32页 |
| ·非常态环境下MEMS的动态特性及测试技术的研究现状 | 第32-35页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第35-37页 |
| 2 微悬臂梁固有频率的温度系数模型 | 第37-48页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·等截面矩形微悬臂梁固有频率的温度系数模型 | 第37-41页 |
| ·等截面矩形微悬臂梁的固有频率 | 第37-39页 |
| ·等截面矩形微悬臂梁固有频率的温度系数 | 第39-41页 |
| ·梯形微悬臂梁固有频率的温度系数模型 | 第41-46页 |
| ·梯形微悬臂梁的固有频率 | 第41-45页 |
| ·梯形微悬臂梁固有频率的温度系数 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 3 微结构的冲击底座激励方法研究 | 第48-65页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·中击底座激励方法的原理 | 第48-50页 |
| ·基于压电陶瓷的冲击底座激励方法 | 第50-55页 |
| ·基于压电陶瓷的冲击底座激励方法的原理 | 第50-51页 |
| ·压电陶瓷的冲击激励带宽分析 | 第51-54页 |
| ·压电陶瓷的实际输出响应信号分析 | 第54-55页 |
| ·基于激波的冲击底座激励方法 | 第55-64页 |
| ·基于激波的冲击底座激励方法的原理 | 第55-58页 |
| ·放电回路参数对激励装置输出特性的影响分析 | 第58-61页 |
| ·基于激波的冲击底座激励方法的可行性验证 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 低温环境微结构动态特性测试系统 | 第65-83页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·测试系统的总体技术方案分析 | 第65-70页 |
| ·微结构激励方法的分析 | 第65-66页 |
| ·微结构振动响应获取方法的分析 | 第66-67页 |
| ·低温环境实现方法的分析 | 第67-69页 |
| ·测试系统总体技术方案 | 第69-70页 |
| ·激励装置的研制 | 第70-73页 |
| ·基于压电陶瓷的冲击底座激励装置 | 第70-72页 |
| ·压电陶瓷冲击激励电源 | 第72-73页 |
| ·低温环境的实现 | 第73-75页 |
| ·真空环境腔体的研制 | 第75-78页 |
| ·微结构振动响应的检测 | 第78-82页 |
| ·激光多普勒测振仪的工作原理 | 第78-80页 |
| ·激光的聚焦以及光斑在微结构上的定位 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 高温环境微结构动态特性测试系统 | 第83-97页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·测试系统的总体技术方案分析 | 第83-89页 |
| ·微结构激励方法分析 | 第83-86页 |
| ·微结构振动响应获取方法分析 | 第86页 |
| ·高温环境实现方法分析 | 第86-88页 |
| ·测试系统总体技术方案设计 | 第88-89页 |
| ·激励装置的研制 | 第89-93页 |
| ·放电电极的设计 | 第89-90页 |
| ·充电和放电回路设计 | 第90-91页 |
| ·基于激波的冲击底座激励装置 | 第91-93页 |
| ·温度控制系统设计 | 第93-95页 |
| ·微结构振动响应的检测 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 高、低温环境下单晶硅微悬臂梁动态特性测试实验 | 第97-122页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·测试用的单晶硅微悬臂梁 | 第97-99页 |
| ·微悬臂梁动态特性参数的提取方法 | 第99-101页 |
| ·室温环境下单晶硅微悬臂梁的动态特性测试实验 | 第101-106页 |
| ·低温环境下单晶硅微悬臂梁的动态特性测试实验 | 第106-112页 |
| ·高温环境下单晶硅微悬臂梁的动态特性测试实验 | 第112-118页 |
| ·测试结果的分析与讨论 | 第118-120页 |
| ·本章小结 | 第120-122页 |
| 7 结论与展望 | 第122-125页 |
| 参考文献 | 第125-133页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第133-134页 |
| 致谢 | 第134-135页 |
| 作者简介 | 第135-136页 |