| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 图表目录 | 第14-18页 |
| 主要符号表 | 第18-19页 |
| 1 绪论 | 第19-39页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第19-20页 |
| ·加速度计的装配特点与性能描述 | 第20-22页 |
| ·加速度计的发展概况与趋势 | 第20页 |
| ·挠性加速度计的装配特点与装配现状 | 第20-21页 |
| ·挠性加速度计的性能描述 | 第21-22页 |
| ·装配不确定因素对性能的影响规律研究 | 第22-25页 |
| ·几何因素对机电产品性能的影响规律研究 | 第22-24页 |
| ·几何因素对陀螺性能的影响规律研究 | 第24-25页 |
| ·微小型零件精密装配技术的研究 | 第25-38页 |
| ·微小装配技术的分类 | 第25页 |
| ·国外微小型装配系统的研究情况 | 第25-36页 |
| ·国内微小型装配系统的研究情况 | 第36-37页 |
| ·微小装配技术在惯性器件制造领域的应用 | 第37-38页 |
| ·本文研究内容与研究思路 | 第38-39页 |
| 2 微小型加速度计装配中性能影响因素分析 | 第39-52页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·微小型挠性加速度计的结构与工作原理 | 第39-41页 |
| ·微小型加速度计偏值误差的影响因素分析 | 第41-46页 |
| ·偏值误差的影响因素分析 | 第41-42页 |
| ·干扰输入对偏值的影响机理分析 | 第42-46页 |
| ·加速度计的性能测试方法 | 第46-47页 |
| ·微小型加速度计非线性、交叉耦合误差的影响因素分析 | 第47页 |
| ·微小型加速度计偏值稳定性的影响因素分析 | 第47-50页 |
| ·偏值稳定性的影响因素分析 | 第47-49页 |
| ·电容器极板间隙变化对偏值稳定性的影响分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 3 微小型加速度计误差的主要影响因素量化分析 | 第52-71页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·导电游丝对加速度计偏值误差的影响分析 | 第52-56页 |
| ·游丝的力矩刚度分析 | 第52-54页 |
| ·游丝的温度稳定性分析 | 第54-55页 |
| ·导电游丝的优化 | 第55-56页 |
| ·热膨胀系数不匹配导致的摆片变形对偏值误差的影响分析 | 第56-60页 |
| ·摆片变形对偏值影响的量化分析 | 第56-59页 |
| ·摆组件的胶粘接工艺优化 | 第59-60页 |
| ·几何误差对加速度计交叉耦合误差、非线性误差的影响分析 | 第60-66页 |
| ·几何误差对加速度计交叉耦合误差、非线性误差的影响规律 | 第60-65页 |
| ·零件的加工、装配公差分析 | 第65-66页 |
| ·力矩器装配误差对加速度计非线性误差的影响 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 4 微小型螺纹副装配中预紧力对偏值稳定性的影响分析与优化控制 | 第71-102页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·螺纹副预紧力影响偏值稳定性的机理研究 | 第71-84页 |
| ·电容传感器极板的接触刚度模型 | 第71-78页 |
| ·预紧力变化对平行极板电容器电容的影响 | 第78-79页 |
| ·预紧力变化对平行极板电容器的电容的影响实验 | 第79-84页 |
| ·微小型零刚度螺纹副的设计与装配 | 第84-101页 |
| ·碟簧刚度特性的研究方法 | 第85-87页 |
| ·碟簧刚度特性的设计优化方法 | 第87-89页 |
| ·微小型球面碟簧的刚度特性优化 | 第89-95页 |
| ·球面碟簧的零刚度特性验证实验 | 第95-98页 |
| ·具有零刚度特性的螺纹副装配中的预紧力控制方法 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 5 微小型加速度计精密装配系统的研制 | 第102-135页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·装配系统总体设计 | 第102-112页 |
| ·微小型加速度计的组成与装配工艺要求 | 第102-103页 |
| ·微小型加速度计装配过程中的关键问题 | 第103-104页 |
| ·微小型加速度计装配系统的总体技术方案 | 第104-107页 |
| ·微小型加速度计装配系统的功能模块 | 第107-112页 |
| ·微小型加速度计装配关键技术 | 第112-132页 |
| ·跨尺度零件的测量技术 | 第112-115页 |
| ·基于图像质量的光源自动调节方法 | 第115-120页 |
| ·零件的识别与定位技术 | 第120-125页 |
| ·装配系统的标定方法 | 第125-130页 |
| ·装配基准的重建 | 第130-131页 |
| ·微力控制方法 | 第131-132页 |
| ·微小型加速度计精密装配系统的实验验证 | 第132-134页 |
| ·显微机器视觉单元的测量实验 | 第132-133页 |
| ·微小型加速度计装配实验 | 第133-134页 |
| ·本章小结 | 第134-135页 |
| 6 结论与展望 | 第135-138页 |
| ·结论 | 第135-136页 |
| ·展望 | 第136-138页 |
| 参考文献 | 第138-150页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第150-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 作者简介 | 第153-154页 |
