静电驱动振膜型微泵理论研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
第一章 绪论	第11-24页
·微系统（MEMS）概述	第11-13页
·微系统（MEMS）制造技术	第13-17页
·微流体器件	第17-22页
·本文研究意义及内容	第22-24页
第二章 静电驱动特性及膜片受力分析	第24-42页
·静电驱动原理	第24-31页
·膜片受力分析	第31-41页
·本章小结	第41-42页
第三章 静电微泵或压缩机建模	第42-60页
·引言	第42页
·最小能量法	第42-49页
·单腔挠度试解最小能量法	第49-52页
·双腔挠度试解最小能量法	第52-58页
·本章小结	第58-60页
第四章 关键参数对系统性能的影响	第60-76页
·模型计算说明	第60页
·SAIF 最小能量法	第60-62页
·单腔挠度试解最小能量法	第62-64页
·双腔挠度试解最小能量法	第64-68页
·单腔模型间的结果比较	第68-69页
·挠度试解模型间的结果比较	第69-71页
·结论与分析	第71-74页
·本章小结	第74-76页
第五章 总结与展望	第76-79页
·本文主要工作及研究结论	第76-77页
·研究展望	第77-79页
参考文献	第79-84页
致谢	第84-85页
攻读硕士学位期间发表的学术论文目录	第85页