大尺寸硅片超精密磨床传输机器人动态仿真及轨迹优化
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究的背景 | 第9页 |
| ·硅片传输机器人的发展及研究现状 | 第9-15页 |
| ·硅片传输机器人的发展 | 第10-11页 |
| ·硅片传输机器人的研究现状 | 第11-15页 |
| ·动态仿真及轨迹规化技术概述 | 第15-17页 |
| ·动态仿真技术的发展现状 | 第15-16页 |
| ·轨迹规划技术的研究现状 | 第16-17页 |
| ·课题研究的主要意义及内容 | 第17-18页 |
| ·课题研究的意义 | 第17-18页 |
| ·课题研究的内容 | 第18页 |
| 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 硅片传输机器人总体方案 | 第19-26页 |
| ·硅片传输机器人构型选择 | 第19-21页 |
| ·硅片传输机器人机构分析 | 第21-24页 |
| ·R-θ型硅片传输机器人结构分析 | 第22-24页 |
| ·R-θ型硅片传输机器人传动方式 | 第24页 |
| ·硅片传输机器人末端执行器 | 第24-25页 |
| ·硅片传输机器人的技术指标 | 第25页 |
| 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 硅片传输机器人运动分析 | 第26-42页 |
| ·机器人运动学基础 | 第26-31页 |
| ·物体在空间的位姿描述 | 第26-28页 |
| ·连杆参数及连杆变换矩阵 | 第28-30页 |
| ·机器人运动学方程的解 | 第30-31页 |
| ·硅片传输机器人手臂运动模型 | 第31-35页 |
| ·径向直线伸缩运动机构的选择 | 第32-34页 |
| ·径向直线伸缩运动机构模型的建立 | 第34-35页 |
| ·径向直线伸缩运动学分析 | 第35-38页 |
| ·径向直线伸缩动力学分析 | 第38-41页 |
| ·硅片传输机器人的工作空间 | 第41页 |
| 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 硅片传输机器人动态仿真 | 第42-50页 |
| ·动态仿真系统开发环境及开发工具 | 第42-43页 |
| ·硅片传输机器人动态仿真模型的建立 | 第43-45页 |
| ·动态仿真系统开发过程 | 第45-48页 |
| ·动态仿真模型中各元件路径信息 | 第45-47页 |
| ·基于 Pro/toolkit 的动态仿真实现 | 第47-48页 |
| ·硅片传输机器人动态仿真的实现 | 第48-49页 |
| 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 硅片传输机器人轨迹优化 | 第50-56页 |
| ·机器人轨迹规划的概述 | 第50页 |
| ·机器人时间最优轨迹规划 | 第50-51页 |
| ·硅片传输机器人时间最优轨迹优化实现 | 第51-55页 |
| 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 A 硅片传输机器人动态仿真系统开发程序 | 第60-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
