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非球面拼接测量中偏置误差作用机理与拼接方法研究

摘要第1-5页
Abstract第5-14页
第1章 绪论第14-30页
   ·课题研究的背景和意义第14-15页
   ·大口径非球面测量的国内外研究现状及分析第15-23页
     ·接触式扫描测量法第15-17页
     ·干涉测量法第17-22页
     ·子孔径拼接干涉测量第22-23页
   ·子孔径拼接干涉测量技术实现方法的国内外研究现状第23-28页
   ·子孔径拼接干涉测量非球面面临的关键技术问题第28-29页
   ·课题研究的来源及主要研究内容第29-30页
第2章 子孔径干涉测量原理与三方向调整误差影响机理分析第30-46页
   ·引言第30页
   ·子孔径干涉测量的基本原理简介第30-32页
   ·三方向调整误差在干涉测量中的作用机理及表现形式第32-42页
     ·对平面干涉测量的影响机理分析第33-34页
     ·对球面干涉测量的影响机理分析第34-38页
     ·对非球面干涉测量的影响机理分析第38-42页
   ·各调整误差分量对被测二次曲面波前分布的影响分析第42-45页
     ·被测面沿轴向平移误差对波前分布的影响第42-43页
     ·被测面倾斜对波前分布的影响第43-45页
   ·本章小结第45-46页
第3章 非球面拼接测量中机构偏置误差作用机理与误差分离模型第46-56页
   ·引言第46页
   ·拼接机构的复合运动机理第46-47页
   ·拼接定位机构偏置误差第47-48页
   ·偏置误差分离模型的建立第48-52页
     ·偏置误差分量与分离矩阵第48-49页
     ·各误差分量的作用表现第49-52页
   ·偏置误差对波前分布影响的干涉图表现第52-54页
   ·本章小结第54-56页
第4章 非球面系统像差修正拼接方法研究第56-81页
   ·引言第56页
   ·子孔径拼接干涉测量原理与数据采集第56-61页
     ·子孔径的拼接第56-58页
     ·两孔径的数据采集及坐标变换第58-61页
   ·非球面拼接测量模型的推导第61-67页
     ·三方向调整误差修正法拼接测量模型第61-62页
     ·非球面系统像差修正法拼接测量模型的推导第62-63页
     ·拼接系数的求解与拼接实现第63-67页
   ·子孔径拼接干涉测量的精度评定第67-71页
     ·比较分析法第67-68页
     ·统计分布法第68-71页
   ·两种拼接测量模型的仿真实验对比分析第71-79页
     ·不存在装调误差及干涉仪的系统误差时的拼接第71-73页
     ·存在偏置误差时两种拼接模型对比分析第73-79页
   ·本章小结第79-81页
第5章 非球面拼接测量系统与实验分析第81-99页
   ·引言第81页
   ·子孔径拼接干涉测量系统的初步设计第81-83页
   ·子孔径拼接干涉测量的实验研究第83-95页
     ·检测平台稳定度实验第84-87页
     ·平面镜拼接测量实验第87-88页
     ·非球面拼接测量对比实验及拼接精度的评定第88-95页
   ·拼接测量系统的不确定度分析第95-97页
   ·本章小结第97-99页
结论第99-101页
参考文献第101-111页
攻读学位期间发表的学术论文第111-113页
致谢第113-114页
个人简历第114页

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