电容式压力微传感器及其无线测量系统

第一章 前言	第1-14页
§1．1 微机电系统简介	第6-7页
§1．2 电容式压力传感器概况	第7-11页
§1．3 传感器集成与无线传感器	第11-13页
§1．4 本课题的任务	第13-14页
第二章 电容式传感器模型	第14-26页
§2．1 电容式压力传感器结构原理	第14-15页
§2．2 硅膜片的弹性分析	第15-26页
第三章 电容式压力传感器测量电路	第26-39页
§3．1 电容信号处理电路原理	第26-27页
§3．2 正弦振荡-放大电路	第27-29页
§3．3 移相电路	第29-31页
§3．4 同步检波	第31-35页
§3．5 电路调试与实验结果	第35-38页
§3．6 传感器分段线性测量的实现设想	第38-39页
第四章 电容式微传感器无线测量系统	第39-58页
§4．1 无线测量系统框图	第39-40页
§4．2 CMOS电容信号处理电路	第40-46页
§4．3 方波调制电路	第46-50页
§4．4 解调电路	第50-52页
§4．5 仿真结果	第52-58页
第五章 结论与展望	第58-60页
§5．1 结论	第58页
§5．2 展望	第58-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-64页