基于差动像散原理的FPC质量检测光学测头的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第14-15页 |
| ·FPC质量自动检测的国内外研究现状 | 第15-26页 |
| ·自动光学检测技术 | 第15-19页 |
| ·自动光学检测技术的原理 | 第15-18页 |
| ·自动光学检测技术的国内外发展情况 | 第18-19页 |
| ·扫描探针检测技术 | 第19-25页 |
| ·物理光学探针 | 第19-20页 |
| ·几何光学探针 | 第20-25页 |
| ·各种方法的比较 | 第25-26页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第26-28页 |
| ·课题来源 | 第26页 |
| ·主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 测量系统的整体设计 | 第28-36页 |
| ·测量系统的原理 | 第28-29页 |
| ·聚焦检测光路的分析 | 第29-31页 |
| ·光源 | 第29-30页 |
| ·光学隔离器 | 第30页 |
| ·聚焦物镜 | 第30-31页 |
| ·四象限光电探测器 | 第31页 |
| ·量程扩展的研究 | 第31-34页 |
| ·动态差动像散法 | 第31-32页 |
| ·远焦光杠杆结构 | 第32-34页 |
| ·系统软件设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 差动像散法光学系统的建模和分析 | 第36-44页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·基于激光束光学的光学系统模型 | 第36-41页 |
| ·模型建立 | 第36-38页 |
| ·FES信号仿真分析 | 第38-41页 |
| ·光学元件的安装位置对 FES的影响 | 第41-43页 |
| ·四象限光电探测器 | 第41-43页 |
| ·柱面镜、分束镜和调焦物镜 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 系统硬件的分析与设计 | 第44-59页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·光电转换电路的分析与设计 | 第44-54页 |
| ·转换系统中的噪声来源 | 第44-47页 |
| ·电路的噪声特性 | 第47-49页 |
| ·噪声系数 | 第47-48页 |
| ·可检测的最小信号 | 第48-49页 |
| ·前置放大器元器件的选择 | 第49-50页 |
| ·光电转换电路结构 | 第50-54页 |
| ·I/V转换电路 | 第51页 |
| ·隔直电路 | 第51-52页 |
| ·加减法电路 | 第52-54页 |
| ·数据采集卡 | 第54-55页 |
| ·音圈电机 | 第55-58页 |
| ·调焦系统的工作原理 | 第55页 |
| ·调焦系统的数学模型 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 系统软件的研究和开发 | 第59-76页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·虚拟仪器的软件基础 | 第59-61页 |
| ·输入/输出(I/O)接口软件 | 第60页 |
| ·仪器驱动程序 | 第60页 |
| ·应用软件 | 第60-61页 |
| ·图形化编程软件平台 LabVIEW | 第61-62页 |
| ·用 LabVIEW设计虚拟仪器的方法 | 第62-64页 |
| ·用 LabVIEW进行数据分析 | 第64页 |
| ·测试系统应用软件的结构 | 第64-65页 |
| ·测试系统应用软件的功能 | 第65-71页 |
| ·登录模块 | 第65-66页 |
| ·实时显示模块 | 第66-67页 |
| ·理论仿真模块 | 第67-68页 |
| ·数据拟合模块 | 第68-70页 |
| ·模型仿真模块 | 第70页 |
| ·帮助模块 | 第70-71页 |
| ·测试系统应用软件的优化 | 第71-74页 |
| ·软件的功能优化 | 第71-73页 |
| ·软件的性能优化 | 第73-74页 |
| ·应用程序的发布 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 系统调试 | 第76-83页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·系统硬件的调试 | 第76-79页 |
| ·光学平台的调试 | 第76-78页 |
| ·电路的调试 | 第78-79页 |
| ·系统软件的调试 | 第79-80页 |
| ·系统的静特性测量 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第七章 结论与展望 | 第83-85页 |
| ·结论 | 第83页 |
| ·论文创新性工作 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第89-90页 |
| 附录 | 第90-99页 |
