空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-10页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第8-9页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第9-10页 |
| 2 空间载频干涉法检测薄膜厚度的原理及过程 | 第10-15页 |
| ·空间载频干涉法测量薄膜厚度的原理 | 第10-11页 |
| ·空间载频干涉法测量薄膜厚度的过程 | 第11-14页 |
| ·干涉条纹图像的采集 | 第11-12页 |
| ·干涉条纹图像的处理过程 | 第12-13页 |
| ·干涉检测系统的简介 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 3 空间载频干涉法测膜厚的关键技术 | 第15-49页 |
| ·干涉图的预处理 | 第15-23页 |
| ·去除噪声 | 第15-18页 |
| ·边缘识别与提取 | 第18-20页 |
| ·区域延拓 | 第20-23页 |
| ·二维快速傅里叶变换算法 | 第23-31页 |
| ·连续函数的傅立叶变换及其反变换 | 第25-26页 |
| ·离散傅立叶变换算法 | 第26-27页 |
| ·干涉图像分析及其快速傅立叶变换算法 | 第27-29页 |
| ·反傅立叶变换和相位提取 | 第29-31页 |
| ·滤波器的选取与设计 | 第31-33页 |
| ·通用滤波器的比较 | 第32-33页 |
| ·滤波器中心频率和带宽的确定 | 第33页 |
| ·相位解包 | 第33-44页 |
| ·干涉测试系统软件设计 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 测试结果与分析 | 第49-63页 |
| ·待测薄膜样片的制备 | 第49页 |
| ·干涉图的图像处理结果 | 第49-61页 |
| ·本算法对一号薄膜样片的测试处理结果及分析 | 第49-52页 |
| ·本算法对二号薄膜样片的测试处理结果及分析 | 第52-55页 |
| ·本算法对三号薄膜样片的测试处理结果及分析 | 第55-57页 |
| ·本算法对一号量块的测试处理结果及分析 | 第57-59页 |
| ·本算法对二号量块的测试处理结果及分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 5 结论 | 第63-66页 |
| ·本文的工作及创新点 | 第63-64页 |
| ·进一步的工作和展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
