光学表面亚表层损伤表征技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·破坏性检测方法 | 第10-12页 |
| ·非破坏性检测方法 | 第12-15页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 2 亚表层损伤模型及产生机理 | 第17-22页 |
| ·光学材料性能 | 第17-18页 |
| ·光学加工工艺 | 第18-19页 |
| ·亚表层损伤表现形式及检测方法 | 第19-21页 |
| ·损伤表现形式 | 第19-20页 |
| ·检测方法 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 光学表面亚表层损伤检测系统介绍 | 第22-40页 |
| ·激光扫描共聚焦显微系统成像特性分析 | 第22-26页 |
| ·共聚焦显微系统的分辨能力 | 第23-24页 |
| ·光束质量对激光共聚焦显微系统的影响 | 第24-26页 |
| ·激光扫描共聚焦显微系统搭建和测试 | 第26-34页 |
| ·一维扫描平台介绍 | 第26-28页 |
| ·二维扫描平台 | 第28-34页 |
| ·光学表面亚表层损伤二维测量及结果分析 | 第34-39页 |
| ·表面粗糙度测量及分析 | 第34-37页 |
| ·亚表层损伤深度测量及分析 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 三维扫描实验构建及亚表层损伤测量 | 第40-50页 |
| ·平面扫描系统 | 第40-41页 |
| ·目标扫描方式 | 第40页 |
| ·扫描振镜方式 | 第40-41页 |
| ·Nipkow盘扫描方式 | 第41页 |
| ·轴向扫描系统 | 第41-43页 |
| ·利用不同波长扫描方式 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷扫描方式 | 第42-43页 |
| ·新型扫描系统 | 第43-44页 |
| ·控制软件 | 第44-45页 |
| ·三维扫描系统对光学表面亚表层损伤检测 | 第45-49页 |
| ·断层信息的获得 | 第45-46页 |
| ·图像处理 | 第46-48页 |
| ·图像显示及分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 实验验证 | 第50-56页 |
| ·HF腐蚀石英玻璃的化学基础和原理 | 第50页 |
| ·刻蚀时间与刻蚀速率、表面粗糙度的关系 | 第50-53页 |
| ·刻蚀时间与刻蚀速率的关系 | 第51页 |
| ·粗糙度和刻蚀时间的关系 | 第51-53页 |
| ·刻蚀深度的测量 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论 | 第56-58页 |
| ·研究内容总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
