光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-5页
目录	第5-7页
1 绪论	第7-9页
·椭圆偏振测量的发展	第7-8页
·本文的主要研究工作	第8-9页
2 光学薄膜椭圆偏振测量的基本原理	第9-16页
·菲涅耳反射系数	第9-12页
·光在两种均匀、各向同性介质界面上的反射	第9-10页
·光在介质薄膜上的反射	第10-12页
·椭圆偏振测量原理	第12-15页
·光在薄膜表面反射对偏振态的改变	第12-13页
·反射系数比与椭偏参数	第13-14页
·椭偏分析	第14-15页
·本章小结	第15-16页
3 光学薄膜系统的模型	第16-29页
·建立适当模型	第16页
·建立薄膜系统模型	第16-20页
·结构模型	第17-18页
·色散模型	第18-20页
·模型参数的相关性	第20页
·测量灵敏度区域	第20-27页
·椭偏参数随薄膜参数变化时灵敏度的比较	第20-22页
·椭圆偏振测量中的薄膜厚度	第22-24页
·选择合适的入射角度	第24-27页
·选择合适的模型参数的初始值	第27-28页
·本章小结	第28-29页
4 椭圆偏振测量的数据处理	第29-41页
·椭偏测量数据处理概述	第29-31页
·模拟退火算法的思想和基本原理	第31-32页
·评价函数	第32-33页
·模拟退火法计算薄膜参数	第33-37页
·模拟退火算法计算薄膜参数的原理	第33-35页
·模拟退火算法的参数选择	第35-37页
·拟合结果评价	第37-38页
·数据处理程序设计	第38-40页
·本章小结	第40-41页
5 薄膜样品参数的测量	第41-50页
·薄膜样品	第41页
·样品的测量	第41-49页
·标准样品的测量	第41-44页
·玻璃基底样品的测量	第44-46页
·单层 TiO_2膜样品测量	第46-49页
·本章小结	第49-50页
6 全文总结	第50-51页
致谢	第51-52页
参考文献	第52-55页