3D-MCM金刚石热沉热分析及热应力分析
第一章 绪论 | 第1-19页 |
·金刚石基板 | 第8-13页 |
·热沉用金刚石基板的特点 | 第8-9页 |
·存在的问题及相应的措施 | 第9-12页 |
·应用现状和前景 | 第12-13页 |
·多芯片组件(MCM) | 第13-19页 |
·多芯片组件(MCM)的定义 | 第13-14页 |
·MCM 的构成、种类及结构特点 | 第14-15页 |
·多芯片组件的应用 | 第15-16页 |
·多芯片组件的研究方向 | 第16页 |
·多芯片组件的热设计 | 第16-19页 |
第二章 传热学、有限元法理论 | 第19-33页 |
·传热学基本理论 | 第19-22页 |
·傅里叶定律 | 第19页 |
·热传导基本微分方程 | 第19-21页 |
·三类基本边界条件 | 第21-22页 |
·有限元方法概述 | 第22-33页 |
·平面稳态温度场的有限元方法 | 第24-28页 |
·平面瞬态温度场的有限元方法 | 第28-30页 |
·利用有限元法计算热应力 | 第30-33页 |
第三章 多芯片组件的热分析 | 第33-43页 |
·建立有限元分析模型 | 第34-42页 |
·模拟计算结果与分析 | 第36-38页 |
·中间金刚石层对温度场的影响 | 第38-39页 |
·金刚石作为基板对温度场的影响 | 第39-41页 |
·对流换热系数对温度场的影响 | 第41-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
第四章 热应力分析 | 第43-57页 |
·二维有限元模型 | 第43-50页 |
·界面热应力随基板/芯片面积比的变化 | 第44-47页 |
·界面热应力随基板/芯片厚度比的变化 | 第47-50页 |
·三维有限元模型 | 第50-56页 |
·界面热应力随基板/芯片面积比的变化 | 第51-53页 |
·界面热应力随基板/芯片厚度比的变化 | 第53-56页 |
·本章小结 | 第56-57页 |
第五章 总结 | 第57-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
攻读硕士期间取得的研究成果 | 第63页 |