| 第一章 绪论 | 第1-26页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·固体润滑剂 | 第8-13页 |
| ·润滑剂的分类 | 第8页 |
| ·固体润滑剂的分类 | 第8-11页 |
| ·固体润滑剂应具备的特性 | 第11-13页 |
| ·固体润滑膜 | 第13-16页 |
| ·固体润滑膜的润滑作用 | 第13页 |
| ·固体润滑膜的摩擦特性及影响因素 | 第13-15页 |
| ·固体润滑膜的磨损特性及影响因素 | 第15-16页 |
| ·MoS_2及 WS_2概述 | 第16-25页 |
| ·MoS_2及 WS_2的性质及结构 | 第16-17页 |
| ·MoS_2及WS_2的应用 | 第17-21页 |
| ·MoS_2及 WS_2溅射固体润滑膜研究进展 | 第21-25页 |
| ·本课题的立题依据和研究意义 | 第25-26页 |
| 第二章 WS_2-Ag复合薄膜的制备 | 第26-34页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·溅射镀膜的原理及特点 | 第26-28页 |
| ·溅射现象与辉光放电 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射镀膜原理及特点 | 第27-28页 |
| ·射频溅射镀膜原理及特点 | 第28页 |
| ·溅射镀膜 | 第28-33页 |
| ·镀膜试验方案设计 | 第28-29页 |
| ·靶材制备 | 第29页 |
| ·基底镀前处理 | 第29-30页 |
| ·WS_2-Ag复合薄膜沉积步骤 | 第30-32页 |
| ·WS_2-Ag复合薄膜沉积工艺参数 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 WS_2-Ag复合薄膜的表征、测试及分析 | 第34-49页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·直流磁控溅射WS_2-Ag复合薄膜的表征、测试及分析 | 第34-40页 |
| ·薄膜厚度测定 | 第34页 |
| ·薄膜形貌表征 | 第34-36页 |
| ·薄膜结构表征 | 第36-38页 |
| ·薄膜化学成分分析 | 第38页 |
| ·薄膜-基底界面结合强度测试 | 第38-40页 |
| ·射频溅射 WS_2-Ag复合薄膜的测试、表征及分析 | 第40-47页 |
| ·薄膜厚度测定 | 第40-41页 |
| ·薄膜形貌表征 | 第41-43页 |
| ·薄膜结构表征 | 第43-45页 |
| ·薄膜化学成分分析 | 第45-46页 |
| ·薄膜-基底界面结合强度测试 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 WS_2-Ag复合薄膜的摩擦磨损性能 | 第49-61页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验细节 | 第49-50页 |
| ·直流磁控溅射 WS_2-Ag复合薄膜环境摩擦磨损性能 | 第50-52页 |
| ·摩擦系数分析 | 第50-51页 |
| ·耐磨性能分析 | 第51-52页 |
| ·磨损形貌分析 | 第52页 |
| ·射频溅射WS_2-Ag复合薄膜环境摩擦磨损性能 | 第52-59页 |
| ·摩擦系数分析 | 第52-56页 |
| ·耐磨性能分析 | 第56-58页 |
| ·磨损形貌分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69页 |
