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用CVD法制备红外块材料ZnS

第一章 前言第1-16页
 1.1 红外材料的发展现状第7-11页
  1.1.1 红外技术第8页
  1.1.2 红外材料第8-11页
 1.2 硫化锌(2nS)多晶体块材料制备方法第11-13页
 1.3 论文的研究目的和研究内容第13-16页
第二章 原料的合成第16-18页
 2.1 实验试剂第16页
 2.2 原料合成(H_2S)第16-18页
第三章 CVD-ZnS晶体生长第18-36页
 3.1 生长装置第19-24页
  3.1.1 炉体结构第19-20页
  3.1.2 控温系统第20-21页
  3.1.3 气体流量控制系统第21-22页
  3.1.4 自动控制和报警检测系统第22-24页
  3.1.5 尾气处理系统第24页
 3.2 生长工艺第24-34页
  3.2.1 生长工艺参数对材料厚度均匀性的影响第25-32页
  3.2.2 生长参数对材料生长速率的影响第32-34页
 3.3 优化工艺第34-36页
第四章 CVD-ZnS晶体的性能第36-46页
 4.1 CVD-ZnS硫化锌晶体的物化性能测试第36-38页
  4.1.1 体积密度第36页
  4.1.2 努普硬度第36页
  4.1.3 抗弯强度第36-37页
  4.1.4 弯曲弹性模量第37页
  4.1.5 断裂韧性第37页
  4.1.6 平均线膨胀系数第37-38页
 4.2 CVD-ZnS硫化锌晶体的光学性能测试第38-46页
  4.2.1 CVD-ZnS多晶材料折射率及折射率均匀性的测定第39-40页
  4.2.2 光学透过率第40-46页
第五章 CVD-ZnS晶体的品质鉴定第46-56页
 5.1 CVD-ZnS硫化锌的成核及晶粒观察第46-48页
 5.2 CVD-ZnS硫化锌的显微组织及其化学计量比第48-51页
  5.2.1 CVD-ZnS的显微组织第48-50页
  5.2.2 CVD-ZnS中各元素化学计量比第50-51页
 5.3 CVD-ZnS多晶的组织特征第51页
 5.4 CVD-ZnS多晶中微量杂质元素的含量第51-53页
 5.5 CVD-ZnS多晶中微孔缺陷的含量第53页
 5.6 热等静压后处理CVD-ZnS多晶晶粒的取向第53-54页
 5.7 减少或消除缺陷的措施第54-56页
结论第56-57页
参考文献第57-60页
致谢第60页

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