第一章 前言 | 第1-16页 |
1.1 红外材料的发展现状 | 第7-11页 |
1.1.1 红外技术 | 第8页 |
1.1.2 红外材料 | 第8-11页 |
1.2 硫化锌(2nS)多晶体块材料制备方法 | 第11-13页 |
1.3 论文的研究目的和研究内容 | 第13-16页 |
第二章 原料的合成 | 第16-18页 |
2.1 实验试剂 | 第16页 |
2.2 原料合成(H_2S) | 第16-18页 |
第三章 CVD-ZnS晶体生长 | 第18-36页 |
3.1 生长装置 | 第19-24页 |
3.1.1 炉体结构 | 第19-20页 |
3.1.2 控温系统 | 第20-21页 |
3.1.3 气体流量控制系统 | 第21-22页 |
3.1.4 自动控制和报警检测系统 | 第22-24页 |
3.1.5 尾气处理系统 | 第24页 |
3.2 生长工艺 | 第24-34页 |
3.2.1 生长工艺参数对材料厚度均匀性的影响 | 第25-32页 |
3.2.2 生长参数对材料生长速率的影响 | 第32-34页 |
3.3 优化工艺 | 第34-36页 |
第四章 CVD-ZnS晶体的性能 | 第36-46页 |
4.1 CVD-ZnS硫化锌晶体的物化性能测试 | 第36-38页 |
4.1.1 体积密度 | 第36页 |
4.1.2 努普硬度 | 第36页 |
4.1.3 抗弯强度 | 第36-37页 |
4.1.4 弯曲弹性模量 | 第37页 |
4.1.5 断裂韧性 | 第37页 |
4.1.6 平均线膨胀系数 | 第37-38页 |
4.2 CVD-ZnS硫化锌晶体的光学性能测试 | 第38-46页 |
4.2.1 CVD-ZnS多晶材料折射率及折射率均匀性的测定 | 第39-40页 |
4.2.2 光学透过率 | 第40-46页 |
第五章 CVD-ZnS晶体的品质鉴定 | 第46-56页 |
5.1 CVD-ZnS硫化锌的成核及晶粒观察 | 第46-48页 |
5.2 CVD-ZnS硫化锌的显微组织及其化学计量比 | 第48-51页 |
5.2.1 CVD-ZnS的显微组织 | 第48-50页 |
5.2.2 CVD-ZnS中各元素化学计量比 | 第50-51页 |
5.3 CVD-ZnS多晶的组织特征 | 第51页 |
5.4 CVD-ZnS多晶中微量杂质元素的含量 | 第51-53页 |
5.5 CVD-ZnS多晶中微孔缺陷的含量 | 第53页 |
5.6 热等静压后处理CVD-ZnS多晶晶粒的取向 | 第53-54页 |
5.7 减少或消除缺陷的措施 | 第54-56页 |
结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-60页 |
致谢 | 第60页 |