微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究
| 序 言 | 第1-9页 |
| 第一章 差动电容式传感器结构 | 第9-17页 |
| 1．1 电容式传感器的特点 | 第9页 |
| 1．2 电容式传感器的工作原理 | 第9-12页 |
| 1．3 差动电容式传感器工作原理 | 第12-13页 |
| 1．4 差动电容式压力传感器结构 | 第13-15页 |
| 1．5 传感器参数测试与分析 | 第15-17页 |
| 第二章 信号调理电路设计 | 第17-27页 |
| 2．1 信号调理电路的整体结构 | 第17页 |
| 2．2 脉宽调制电路 | 第17-20页 |
| 2．3 包络检波电路 | 第20-21页 |
| 2．4 信号放大电路 | 第21-24页 |
| 2．4．1 差动电压放大电路 | 第21-22页 |
| 2．4．2 可调增益放大电路 | 第22-24页 |
| 2．5 RC滤波电路 | 第24-25页 |
| 2．6 电源电路 | 第25-27页 |
| 第三章 单片机外围器件硬件设计 | 第27-33页 |
| 3．1 单片机控制及外围电路结构 | 第27页 |
| 3．2 模数转换电路 | 第27-29页 |
| 3．3 集成温度传感器 | 第29-31页 |
| 3．4 单片机模块 | 第31-32页 |
| 3．5 液晶模块 | 第32-33页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第33-38页 |
| 4．1 系统软件结构 | 第33-34页 |
| 4．2 器件驱动程序 | 第34-35页 |
| 4．3 软件抗干扰设计 | 第35-36页 |
| 4．4 零位漂移的补正 | 第36-38页 |
| 第五章 补偿算法研究 | 第38-44页 |
| 5．1 数据拟合 | 第38-41页 |
| 5．1．1 线性拟合 | 第38-40页 |
| 5．1．2 多项式拟合 | 第40-41页 |
| 5．2 插值 | 第41-44页 |
| 5．2．1 线性插值 | 第41-43页 |
| 5．2．2 二次抛物线插值 | 第43-44页 |
| 第六章 实验数据及处理 | 第44-50页 |
| 6．1 数据补偿及处理过程 | 第44-45页 |
| 6．2 样机数据及调试 | 第45-48页 |
| 6．2．1 温度实验数据分析 | 第45-46页 |
| 6．2．2 温度补偿结果测试 | 第46-47页 |
| 6．2．3 压力实验数据分析 | 第47-48页 |
| 6．3 实验结果及误差分析 | 第48-50页 |
| 结 论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
