气浮工作台控制系统研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·超精密工作台的驱动特点和控制技术 | 第8-14页 |
| ·直接驱动的特点 | 第8-9页 |
| ·控制方法介绍 | 第9-14页 |
| ·直线电机控制技术国内外发展现状 | 第14-17页 |
| ·国外直线电机控制技术发展现状 | 第14-16页 |
| ·国内直线电机控制技术发展现状 | 第16-17页 |
| ·工作台的控制技术 | 第17-18页 |
| ·课题的提出及本文的目的 | 第18-19页 |
| 第二章 超精密工作台控制的关键技术 | 第19-36页 |
| ·概述 | 第19页 |
| ·控制系统的结构设计 | 第19-25页 |
| ·控制系统的组成 | 第19-20页 |
| ·控制器的选择 | 第20-23页 |
| ·执行机构的选择 | 第23页 |
| ·直线电机驱动全闭环交流伺服系统 | 第23-25页 |
| ·轨迹规划 | 第25-29页 |
| ·基于LabVIEW 的插补设计 | 第29-34页 |
| ·插补概述 | 第29-30页 |
| ·直线插补 | 第30-33页 |
| ·圆弧插补 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 控制系统的仿真 | 第36-53页 |
| ·永磁直线电机简介 | 第36-38页 |
| ·概述 | 第36页 |
| ·永磁直线电机的基本结构 | 第36-37页 |
| ·永磁直线电机的基本工作原理 | 第37-38页 |
| ·超精密工作台的数学模型建立 | 第38-39页 |
| ·基于滑模变控制理论的控制器设计 | 第39-43页 |
| ·滑模变控制理论概述 | 第39-40页 |
| ·滑模变控制理论基本原理 | 第40-42页 |
| ·基于指数趋近律的控制器设计 | 第42页 |
| ·基于变速趋近律的控制器设计 | 第42-43页 |
| ·基于组合趋近律的控制器设计 | 第43页 |
| ·超精密工作台控制系统仿真 | 第43-51页 |
| ·超精密工作台的控制系统建立 | 第43-44页 |
| ·不同控制器的控制效果分析 | 第44-50页 |
| ·气浮阻尼对控制系统的影响分析 | 第50-51页 |
| ·与PID 控制方式的比较分析 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 控制系统设计 | 第53-68页 |
| ·硬件系统设计 | 第53-57页 |
| ·直线电机的选型 | 第53-54页 |
| ·运动控制卡的选型 | 第54-56页 |
| ·光栅尺的选型 | 第56-57页 |
| ·软件系统设计 | 第57-66页 |
| ·控制系统的设计概述 | 第57-58页 |
| ·控制系统主要功能模块的设计 | 第58-63页 |
| ·人机交互界面的设计 | 第63-65页 |
| ·控制系统的实现 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第五章 结论与展望 | 第68-70页 |
| ·本文结论 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
