基于气体润滑静压工作台的若干关键技术
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外超精密工作台发展概况 | 第9-15页 |
| ·摩擦式驱动超精密工作台 | 第9-10页 |
| ·直线电机式驱动超精密工作台 | 第10-13页 |
| ·两级进给式超精密工作台 | 第13-14页 |
| ·产品化的精密工作台 | 第14-15页 |
| ·课题的提出及本文的目的 | 第15-18页 |
| ·导轨形式的确定 | 第15-16页 |
| ·本文的研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 空气静压工作台结构的初步设计 | 第18-36页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·导轨类型简介 | 第18-20页 |
| ·空气静压导轨的结构类型 | 第20-23页 |
| ·真空吸附平衡式导轨的工作原理 | 第23-24页 |
| ·气浮垫类型的选择 | 第24-28页 |
| ·工作台系统参数的确定 | 第28-30页 |
| ·工作台系统实用化设计中需解决的问题 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 基于气体润滑静压工作台的性能计算 | 第36-61页 |
| ·气体润滑技术概述 | 第36-37页 |
| ·平面支承气体雷诺方程的建立 | 第37-38页 |
| ·环面节流器 | 第38-42页 |
| ·节流器原理简介 | 第38-39页 |
| ·环面节流器节流参数计算 | 第39-42页 |
| ·数值计算原理 | 第42-48页 |
| ·数值计算相关说明 | 第42-44页 |
| ·雷诺方程的离散 | 第44-46页 |
| ·连续性方程的建立 | 第46-48页 |
| ·承载能力和刚度的计算 | 第48页 |
| ·数值计算结果分析 | 第48-57页 |
| ·工作台结构变形分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 基于气体润滑静压导轨的精度分析 | 第61-76页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·精度分析原理 | 第61-65页 |
| ·精度的定义 | 第61-62页 |
| ·误差的来源 | 第62页 |
| ·误差传递系数 | 第62-63页 |
| ·误差合成方法的选择 | 第63-64页 |
| ·导轨误差的分配 | 第64-65页 |
| ·空气静压导轨的精度分析 | 第65-75页 |
| ·空气静压导轨工作方程式的推导 | 第65-69页 |
| ·气浮垫精度计算方程式的推导 | 第69-71页 |
| ·导轨副的精度计算 | 第71-72页 |
| ·导轨总误差的精度分配 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 结论与展望 | 第76-78页 |
| ·本文结论 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
