永磁同步电机伺服系统及工件台上位机软件设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·光刻机的研究现状 | 第8-9页 |
| ·工件台的研究现状 | 第9-10页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第10-16页 |
| ·上位机界面设计 | 第10-11页 |
| ·辅助伺服系统的研究 | 第11-16页 |
| 第2章 永磁同步电机数学模型及控制策略 | 第16-30页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·永磁同步电机的数学模型 | 第16-21页 |
| ·永磁同步电机的结构 | 第16-17页 |
| ·数学模型的建立 | 第17-21页 |
| ·永磁同步电机的控制策略 | 第21-28页 |
| ·控制策略选择 | 第21页 |
| ·矢量控制理论 | 第21-24页 |
| ·空间矢量调制（SVPWM）原理 | 第24-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 伺服系统控制策略 | 第30-42页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·经典PID 控制器设计 | 第30-34页 |
| ·电流环PI 控制器设计 | 第31-33页 |
| ·速度环PI 控制器设计 | 第33-34页 |
| ·位置环比例（P）控制器设计 | 第34页 |
| ·滑模变结构控制器设计 | 第34-41页 |
| ·滑模变结构控制基本概念 | 第35-38页 |
| ·滑模变结构控制器设计 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 伺服系统的仿真与分析 | 第42-57页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·永磁同步伺服系统仿真模型的建立 | 第42-49页 |
| ·坐标变换模块 | 第43页 |
| ·SVPWM 模块 | 第43-48页 |
| ·PMSM 矢量控制仿真模型 | 第48-49页 |
| ·电流环的仿真与分析 | 第49-50页 |
| ·速度环的仿真与分析 | 第50-51页 |
| ·速度环PI 控制器 | 第50页 |
| ·速度环滑模变结构控制器 | 第50-51页 |
| ·仿真结果 | 第51页 |
| ·位置环的仿真与分析 | 第51-56页 |
| ·经典PID 控制器 | 第51-53页 |
| ·速度环滑模变结构控制器，位置环P 控制器 | 第53-54页 |
| ·速度环PI 控制器，位置环滑模控制器 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 上位机界面设计 | 第57-63页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·上位机功能 | 第57-58页 |
| ·控制分析软件开发工具选择 | 第58-59页 |
| ·界面设计 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
