| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题的研究背景 | 第13-14页 |
| ·微机电系统概述 | 第13页 |
| ·微流体系统和微泵技术概述 | 第13-14页 |
| ·微泵技术的研究现状 | 第14-20页 |
| ·微泵的分类 | 第14-15页 |
| ·往复薄膜式微泵的基本模型 | 第15页 |
| ·有阀型微泵 | 第15-18页 |
| ·无阀型微泵 | 第18-20页 |
| ·微泵技术的应用及发展前景 | 第20-23页 |
| ·微泵的应用 | 第20-21页 |
| ·存在的一些问题及技术展望 | 第21-23页 |
| ·本课题的选题意义和研究内容 | 第23-25页 |
| ·选题意义 | 第23页 |
| ·课题的研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 双联腔三振子无阀压电微泵的总体设计 | 第25-43页 |
| ·微结构设计基础理论 | 第25-26页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵结构的提出 | 第26-31页 |
| ·现有无阀微泵的典型结构及特点 | 第26-29页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵的基本结构及特点 | 第29-31页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵驱动方案设计 | 第31-32页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵泵体部分的设计 | 第32-39页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵致动方式的选择 | 第33-37页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵复合压电振子的选择 | 第37-39页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵与流体接触腔部分的设计 | 第39-42页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵扩张/收缩管的选择 | 第39-41页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵泵腔形状的选择 | 第41-42页 |
| ·双联腔三振子无阀压电微泵缓冲腔形状的选择 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 基于ANSYS 的复合压电振子的设计分析 | 第43-67页 |
| ·复合压电振子振动的理论分析 | 第43-54页 |
| ·压电效应和压电方程 | 第43-46页 |
| ·薄板弯曲振动的理论分析 | 第46-50页 |
| ·复合压电振子振动的理论分析 | 第50-54页 |
| ·圆形复合压电振子振动的有限元分析 | 第54-60页 |
| ·圆形复合压电振子的静态分析 | 第55-56页 |
| ·圆形复合压电振子的动力学分析 | 第56-60页 |
| ·复合压电振子的结构优化 | 第60-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 基于FLUENT 的微流体研究与泵腔部分设计 | 第67-88页 |
| ·无阀微泵内部流体的流动分析 | 第67-73页 |
| ·微尺度下流体特性 | 第67-68页 |
| ·微泵中流体工质的特性 | 第68-69页 |
| ·微泵中流体的基本控制方程 | 第69-70页 |
| ·微泵中流体的流动形式 | 第70-72页 |
| ·微泵中流体流动时受到的阻力与能量损失 | 第72-73页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管的吸入和流出过程分析 | 第73-77页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管的模型和工作原理 | 第73-74页 |
| ·无阀微泵扩张 | 第74-75页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管的流量和效率 | 第75-77页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管的有限元仿真与数值计算 | 第77-85页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管的有限元仿真 | 第77-79页 |
| ·无阀微泵扩张/收缩管结构参数的优化设计 | 第79-85页 |
| ·无阀微泵泵腔和缓冲腔的结构参数设计 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 结论 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 作者简介 | 第97页 |