飞秒激光微构造硅光学性质研究及实验装置
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 图目录 | 第9-11页 |
| 表目录 | 第11-12页 |
| 1. 研究背景 | 第12-29页 |
| ·飞秒激光发展历史回顾 | 第12-13页 |
| ·飞秒激光与物质的相互作用简介 | 第13-15页 |
| ·飞秒激光微构造硅发展概况与特性 | 第15-22页 |
| ·高吸收特性 | 第16-17页 |
| ·发光特性 | 第17-18页 |
| ·场发射特性 | 第18-19页 |
| ·光电响应特性 | 第19-20页 |
| ·高发射率特性 | 第20-21页 |
| ·太赫兹发射特性 | 第21-22页 |
| ·论文主要内容与安排 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-29页 |
| 2. 微构造硅的实验装置 | 第29-41页 |
| ·系统介绍 | 第29页 |
| ·飞秒激光系统 | 第29-31页 |
| ·振荡级 | 第29-30页 |
| ·放大级 | 第30-31页 |
| ·微构造系统 | 第31-34页 |
| ·辅助光路 | 第32-33页 |
| ·真空室 | 第33-34页 |
| ·样品制备流程 | 第34-36页 |
| ·实验样品准备[5] | 第34-35页 |
| ·样品微构造过程[6] | 第35-36页 |
| ·表面微结构的控制 | 第36-39页 |
| ·不同气体背景的影响 | 第36-37页 |
| ·不同能量的影响 | 第37页 |
| ·其它因素的影响 | 第37-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 3. 微构造硅光学特性专用测量装置 | 第41-74页 |
| ·介绍 | 第41页 |
| ·反射比的高精度测量 | 第41-49页 |
| ·测量原理 | 第41-43页 |
| ·主要测量装置 | 第43-48页 |
| ·测量不确定度 | 第48-49页 |
| ·透射比的高精度测量 | 第49-51页 |
| ·测量原理 | 第49-50页 |
| ·主要测量装置 | 第50页 |
| ·测量不确定度评估 | 第50-51页 |
| ·发射率的高精度测量 | 第51-55页 |
| ·测量原理 | 第51-53页 |
| ·测量装置 | 第53-54页 |
| ·测量不确定度 | 第54-55页 |
| ·测量理论模型的完善 | 第55-59页 |
| ·公式简化 | 第57-58页 |
| ·立体角的精确求解 | 第58-59页 |
| ·完善前后的结论对比 | 第59页 |
| ·装置改造 | 第59-62页 |
| ·辅助光阑的设计加工 | 第60-62页 |
| ·测量流程与计算方法的变更 | 第62页 |
| ·不确定度的验证与旁证实验 | 第62-69页 |
| ·UV-VIS-NIR波段 | 第62-65页 |
| ·IR波段 | 第65-69页 |
| ·总结与致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 4. 微构造硅光学特性研究 | 第74-100页 |
| ·介绍 | 第74-75页 |
| ·提升的宽波段光谱吸收比 | 第75-81页 |
| ·测量结果 | 第75-78页 |
| ·高吸收机理探讨 | 第78-81页 |
| ·应用前景 | 第81页 |
| ·反射光空间分布 | 第81-87页 |
| ·介绍 | 第81-82页 |
| ·装置介绍 | 第82页 |
| ·测量结果之一:表面波的相关问题 | 第82-85页 |
| ·测量结果之二:逆反射特性 | 第85-86页 |
| ·测量结果之三:均匀漫射 | 第86-87页 |
| ·提升的法向光谱发射率 | 第87-94页 |
| ·介绍 | 第87页 |
| ·发射率测量结果 | 第87-91页 |
| ·高发射率机理探讨 | 第91-93页 |
| ·应用前景 | 第93-94页 |
| ·总结 | 第94页 |
| ·进一步工作 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 5. 微结构材料的仿真分析与实验 | 第100-132页 |
| ·介绍 | 第100-101页 |
| ·仿真算法与模型 | 第101-111页 |
| ·光线追迹算法简介 | 第101-102页 |
| ·光线追迹方法的仿真误差 | 第102-103页 |
| ·仿真结果的不确定度估计 | 第103-106页 |
| ·仿真模型的建立 | 第106-111页 |
| ·纯微构造硅仿真结果 | 第111-114页 |
| ·微结构的复制及仿真比较 | 第114-121页 |
| ·微结构的PDMS复制 | 第114-116页 |
| ·PDMS微结构的实验数据与仿真结果 | 第116-119页 |
| ·微结构镀金样品反射比 | 第119-121页 |
| ·微构造尺度与吸收率关系仿真 | 第121-126页 |
| ·微构造硅尺度与吸收率关系仿真 | 第121-123页 |
| ·微构造金尺度与反射比关系的仿真 | 第123-126页 |
| ·总结 | 第126-127页 |
| ·进一步工作 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-132页 |
| 6 工作总结 | 第132-134页 |
| 攻读博士期间发表的论文,国家标准与专利 | 第134-137页 |
| 致谢 | 第137-139页 |
