| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-16页 |
| 1.1.1 光学元件的应用与加工 | 第12-14页 |
| 1.1.2 光学元件的面形特征与评价指标 | 第14-16页 |
| 1.1.3 光学元件的测量需求 | 第16页 |
| 1.2 光学元件面形测量技术的对比 | 第16-25页 |
| 1.2.1 干涉测量技术 | 第17-20页 |
| 1.2.2 接触式探针测量技术 | 第20-21页 |
| 1.2.3 坐标测量技术 | 第21-25页 |
| 1.2.4 三种测量技术的对比 | 第25页 |
| 1.3 非接触式坐标扫描测量技术发展现状 | 第25-28页 |
| 1.4 论文的研究意义及研究内容 | 第28-30页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第28-29页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第29-30页 |
| 2 非接触式坐标测量系统硬件结构与软件设计 | 第30-48页 |
| 2.1 非接触式坐标测量系统硬件结构 | 第30-36页 |
| 2.1.1 总体硬件结构 | 第30-31页 |
| 2.1.2 光谱共焦传感器 | 第31-32页 |
| 2.1.3 运动控制系统 | 第32-33页 |
| 2.1.4 基于音圈电机的自聚焦测量系统 | 第33-35页 |
| 2.1.5 数据采集系统 | 第35-36页 |
| 2.2 非接触式坐标测量系统测控软件开发 | 第36-47页 |
| 2.2.1 测控软件的功能需求 | 第36-38页 |
| 2.2.2 测控软件开发环境介绍 | 第38-39页 |
| 2.2.3 基于Qt 5.6与C++的多线程测控软件 | 第39-47页 |
| 2.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 3 基于优化旋转扫描测量幅值的对心方法 | 第48-60页 |
| 3.1 圆柱坐标扫描测量中的对心需求 | 第48-49页 |
| 3.2 基于优化扫描幅值的旋转扫描对心技术 | 第49-53页 |
| 3.2.1 旋转扫描对心原理 | 第49-52页 |
| 3.2.2 旋转扫描对心流程 | 第52-53页 |
| 3.3 旋转扫描对心实验 | 第53-59页 |
| 3.3.1 同心圆扫描测量中的对心实验 | 第54-58页 |
| 3.3.2 对心残余误差分析 | 第58-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 4 非接触式坐标测量系统测量不确定度评估 | 第60-73页 |
| 4.1 测量不确定度的定义与评估方法 | 第60-61页 |
| 4.1.1 测量不确定度的定义 | 第60-61页 |
| 4.1.2 测量不确定度的评估方法 | 第61页 |
| 4.2 工件对心误差引入的不确定度 | 第61-62页 |
| 4.2.1 对心误差引起的扫描轨迹偏移 | 第61-62页 |
| 4.2.2 对心误差引入的不确定度 | 第62页 |
| 4.3 运动系统几何误差引入的不确定度 | 第62-70页 |
| 4.3.1 工件与探头在空间中的相对自由度 | 第62-64页 |
| 4.3.2 X轴与Y轴的位置误差 | 第64-65页 |
| 4.3.3 直线轴的直线度误差与平行度误差 | 第65-66页 |
| 4.3.4 转台的轴向窜动误差与径向跳动误差 | 第66-67页 |
| 4.3.5 几何误差引入的综合不确定度 | 第67-70页 |
| 4.4 其他误差引入的不确定度 | 第70-71页 |
| 4.4.1 探头漂移引入的不确定度 | 第70-71页 |
| 4.4.2 数据采集误差引入的不确定度 | 第71页 |
| 4.5 非接触式坐标测量系统的合成标准不确定度 | 第71页 |
| 4.6 本章小结 | 第71-73页 |
| 5 基于K近邻点云滤波的表面疵病提取技术 | 第73-83页 |
| 5.1 基于归一化局部反射率的疵病测量技术 | 第73-78页 |
| 5.1.1 基于光谱共焦信号强度的局部反射率计算 | 第73-75页 |
| 5.1.2 HUD反射镜表面疵病测量实验 | 第75-78页 |
| 5.2 基于K近邻算法的反射率点云空间滤波与疵病提取 | 第78-81页 |
| 5.2.1 基于PCL库的点云数据处理技术 | 第78-79页 |
| 5.2.2 基于K近邻滤波算法的HUD反射镜表面疵病提取 | 第79-81页 |
| 5.3 本章小结 | 第81-83页 |
| 6 总结与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 工作总结 | 第83-84页 |
| 6.2 工作展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
