8X8 MEMS转镜光开关工艺的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 光网络中的光开关 | 第8-12页 |
| 1.2 阵列光开关产品国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本论文研究的内容 | 第14-15页 |
| 第2章 8×8MEMS转镜光开关整体设计 | 第15-23页 |
| 2.1 高斯光束传播理论 | 第15-17页 |
| 2.2 MEMS光开关整体光路设计 | 第17-19页 |
| 2.3 准直器阵列的设计 | 第19-22页 |
| 2.3.1 光纤阵列的设计 | 第20-21页 |
| 2.3.2 透镜阵列的设计 | 第21-22页 |
| 2.4 MEMS转镜阵列设计 | 第22-23页 |
| 第3章 8X8MEMS转镜光开关制作工艺 | 第23-41页 |
| 3.1 二维光纤阵列的制作 | 第23-37页 |
| 3.1.1 二维光纤阵列的分类 | 第23-25页 |
| 3.1.2 硅片定位的二维光纤阵列制作工艺 | 第25-37页 |
| 3.2 准直器阵列的制作 | 第37-41页 |
| 3.2.1 阵列准直器制作工艺要求 | 第38-39页 |
| 3.2.2 阵列准直器制作工艺步骤 | 第39-41页 |
| 第4章 8X8MEMS转镜光开关性能测试及讨论 | 第41-55页 |
| 4.1 光纤阵列性能测试及分析 | 第41-49页 |
| 4.1.1 回波损耗测试 | 第41-43页 |
| 4.1.2 光纤端面角度测量 | 第43-45页 |
| 4.1.3 插入损耗测试 | 第45-49页 |
| 4.2 准直器阵列测试 | 第49-55页 |
| 4.2.1 准直器阵列插入损耗测试 | 第49-54页 |
| 4.2.2 束腰位置和光斑大小测试 | 第54-55页 |
| 第5章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 全文总结 | 第55页 |
| 5.2 展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 附录2 主要英文缩写语对照表 | 第61页 |
