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毫牛级微推力测试装置研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
1 绪论第7-22页
    1.1 课题研究背景及意义第7-8页
    1.2 国内外研究现状第8-21页
        1.2.1 微推力测量装置研究现状第8-20页
        1.2.2 微小力产生装置研究现状第20-21页
    1.3 课题主要研究内容第21-22页
2 微小力产生装置设计第22-36页
    2.1 微小推力测量难点分析第22页
    2.2 微小电磁力产生装置设计第22-29页
        2.2.1 电磁力计算数学模型第22-24页
        2.2.2 微小电磁力产生装置结构设计第24-28页
        2.2.3 微小电磁力产生装置的装配第28-29页
    2.3 电磁力标定实验第29-35页
        2.3.1 固定气隙改变电流实验第30-32页
        2.3.2 固定电流改变气隙实验第32-35页
    2.4 本章小结第35-36页
3 微小推力测量系统设计第36-54页
    3.1 光学路径设计第36-42页
    3.2 弹性灵敏元件扭转刚度的选择第42-45页
    3.3 微小推力测量装置零部件设计第45-50页
        3.3.1 横梁的设计第45-46页
        3.3.2 旋转轴的设计第46-47页
        3.3.3 支撑架的设计第47-48页
        3.3.4 支撑托架的设计第48-49页
        3.3.5 PSD与激光器固定架的设计第49-50页
    3.4 微小推力测量系统零部件装配第50-53页
        3.4.1 俯仰调平第50-51页
        3.4.2 横滚调平第51-52页
        3.4.3 最终装配第52-53页
    3.5 本章小节第53-54页
4 微小推力测量系统实验设计及误差分析第54-72页
    4.1 理论计算第54页
    4.2 微小推力测量装置标定实验第54-59页
        4.2.1 非线性度和重复性误差的测量第56-59页
        4.2.2 迟滞误差的计算第59页
        4.2.3 稳定性实验第59页
    4.3 误差分析第59-71页
        4.3.1 导磁块材料对实验造成的误差第59页
        4.3.2 气隙变化造成的误差第59-70页
        4.3.3 扭力弹簧轴承几何中心偏移误差第70-71页
    4.4 本章小节第71-72页
结论第72-74页
参考文献第74-77页
附录A 课题相关照片第77-78页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第78-79页
致谢第79-82页

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