摘要 | 第5-7页 |
ABSTRACT | 第7-8页 |
符号对照表 | 第12-13页 |
缩略语对照表 | 第13-16页 |
第一章 绪论 | 第16-28页 |
1.1 研究背景及研究意义 | 第16-26页 |
1.1.1 GaN材料及GaN基HEMT器件的发展 | 第16-19页 |
1.1.2 GaN基HEMT器件所存在的高场可靠性问题 | 第19-23页 |
1.1.3 GaN基HEMT器件所存在的高温可靠性问题 | 第23-26页 |
1.2 本文的主要内容 | 第26-28页 |
第二章 AlGaN/GaN HEMT器件的工作原理 | 第28-36页 |
2.1 AlGaN/GaN HEMT器件基本结构 | 第28-29页 |
2.2 AlGaN/GaN异质结的极化效应及二维电子气的产生 | 第29-32页 |
2.3 AlGaN/GaN HEMT器件的直流特性 | 第32-34页 |
2.4 本章小结 | 第34-36页 |
第三章 AlGaN/GaN HEMT器件的高场可靠性 | 第36-50页 |
3.1 实验方案与器件表征 | 第36-37页 |
3.2 关态恒定电应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第37-40页 |
3.3 开态恒定电应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第40-43页 |
3.4 阶梯应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第43-48页 |
3.4.1 关态栅阶梯应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第44-45页 |
3.4.2 关态漏阶梯应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第45-47页 |
3.4.3 开态阶梯应力下AlGaN/GaN HEMT器件的退化 | 第47-48页 |
3.5 本章小结 | 第48-50页 |
第四章 AlGaN/GaN HEMT器件的高温可靠性 | 第50-62页 |
4.1 AlGaN/GaN HEMT器件的高温直流特性 | 第50-54页 |
4.2 AlGaN/GaN HEMT器件的高温交流特性 | 第54-61页 |
4.2.1 脉冲应力下AlGaN/GaN HEMT器件的电流崩塌 | 第54-56页 |
4.2.2 AlGaN/GaN HEMT器件的C-V特性研究 | 第56-60页 |
4.2.3 AlGaN/GaN HEMT器件的栅延迟特性 | 第60-61页 |
4.3 本章小结 | 第61-62页 |
第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
5.1 本文的主要结论 | 第62-63页 |
5.2 工作展望 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-70页 |
致谢 | 第70-72页 |
作者简介 | 第72-73页 |