基于声表面波谐振式无源无线压力传感器的研究
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景及其意义 | 第10-14页 |
| 1.2 国内外研究状况 | 第14-17页 |
| 1.2.1 国外现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 国内现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 发展趋势 | 第16-17页 |
| 1.3 研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第17页 |
| 1.3.2 研究方法 | 第17页 |
| 1.3.3 技术路线 | 第17-18页 |
| 1.3.4 研究主要创新点 | 第18-19页 |
| 第2章 声表面波理论及压力传感器设计 | 第19-31页 |
| 2.1 声表面波理论 | 第19-24页 |
| 2.1.1 声表面波简介 | 第19-21页 |
| 2.1.2 声表面波传播方程 | 第21-24页 |
| 2.2 声表面波压力传感器类型 | 第24-26页 |
| 2.2.1 延迟线型 | 第24页 |
| 2.2.2 谐振器型 | 第24-25页 |
| 2.2.3 振荡器型 | 第25-26页 |
| 2.3 声表面波压力传感器设计 | 第26-31页 |
| 2.3.1 声表面波压力传感器材料的研究 | 第26-27页 |
| 2.3.2 声表面波谐振器设计 | 第27-31页 |
| 第3章 声表面波压力传感器建模与仿真 | 第31-56页 |
| 3.1 声表面波器件模型 | 第31-35页 |
| 3.1.1 δ模型 | 第31-32页 |
| 3.1.2 耦合模 | 第32-34页 |
| 3.1.3 P矩阵模型 | 第34-35页 |
| 3.2 有限元法及分析软件 | 第35-38页 |
| 3.2.1 有限元分析方法基本理论 | 第35-37页 |
| 3.2.2 有限元分析软件 | 第37-38页 |
| 3.3 声表面波压力传感器有限元分析 | 第38-56页 |
| 3.3.1 谐振器在基片上的位置 | 第38-43页 |
| 3.3.2 SAW器件特征频率分析 | 第43-47页 |
| 3.3.3 SAW器件频率响应分析 | 第47-48页 |
| 3.3.4 声孔径对IDT特性的影响 | 第48-49页 |
| 3.3.5 压力加载下的频率响应分析 | 第49-52页 |
| 3.3.6 3D有限元分析 | 第52-56页 |
| 第4章 声表面波谐振器微加工 | 第56-70页 |
| 4.1 铝薄膜沉积 | 第56-59页 |
| 4.2 基于光刻技术的声表面波器件制作 | 第59-70页 |
| 4.2.1 旋涂匀胶及软烘 | 第59-63页 |
| 4.2.2 曝光 | 第63-66页 |
| 4.2.3 显影、硬烘及刻蚀 | 第66-70页 |
| 第5章 声表面波谐振器测试 | 第70-77页 |
| 5.1 网络分析仪 | 第70页 |
| 5.2 网络的S参数 | 第70-72页 |
| 5.3 谐振器S参数测量 | 第72-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
