| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 Ti-Si-C-N涂层的结构与性质 | 第13-14页 |
| 1.2.1 Ti-Si-C-N涂层的微观组织结构 | 第13页 |
| 1.2.2 Ti-Si-C-N涂层的力学性能 | 第13-14页 |
| 1.3 类金刚石涂层 | 第14-16页 |
| 1.3.1 类金刚石涂层的微观组织结构 | 第14页 |
| 1.3.2 类金刚石涂层的力学性能 | 第14-15页 |
| 1.3.3 复合类金刚石涂层 | 第15-16页 |
| 1.4 涂层性能对耐磨性的影响 | 第16-17页 |
| 1.4.1 涂层硬度对耐磨性的影响 | 第16页 |
| 1.4.2 涂层韧性对耐磨性的影响 | 第16-17页 |
| 1.4.3 涂层弹塑性对耐磨性的影响 | 第17页 |
| 1.5 本文的选题意义和研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验方法及原理 | 第19-30页 |
| 2.1 涂层制备过程 | 第19-21页 |
| 2.1.1 Ti-Si-C-N涂层的制备过程 | 第19-20页 |
| 2.1.2 类金刚石涂层和含有SiC/DLC过渡层的类金刚石涂层的制备过程 | 第20-21页 |
| 2.2 涂层成分与结构表征 | 第21-23页 |
| 2.2.1 拉曼光谱(Raman) | 第21-22页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD) | 第22页 |
| 2.2.3 光学显微镜(OM) | 第22-23页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| 2.2.5 能量色散X射线谱(EDS) | 第23页 |
| 2.3 涂层性能表征 | 第23-30页 |
| 2.3.1 涂层厚度测量 | 第23-24页 |
| 2.3.2 显微硬度测量 | 第24-25页 |
| 2.3.3 弹塑性变形能力评价 | 第25-26页 |
| 2.3.4 韧性评价 | 第26页 |
| 2.3.5 膜/基结合力评价 | 第26-27页 |
| 2.3.6 摩擦磨损分析 | 第27-28页 |
| 2.3.7 涂层赫兹应力计算 | 第28-30页 |
| 第3章 Ti-Si-C-N涂层和类金刚石涂层的性能评价 | 第30-47页 |
| 3.1 Ti-Si-C-N涂层和DLC涂层的成分与结构表征 | 第30-32页 |
| 3.1.1 涂层厚度测量结果 | 第30页 |
| 3.1.2 涂层断面组织形貌及EDX能谱分析 | 第30-31页 |
| 3.1.3 涂层相结构分析 | 第31-32页 |
| 3.1.4 Raman光谱结果分析 | 第32页 |
| 3.2 DLC样品和Ti-Si-C-N样品的涂层性能表征 | 第32-45页 |
| 3.2.1 涂层显微硬度测量结果 | 第32-33页 |
| 3.2.2 涂层弹塑性变形能力测量结果 | 第33-36页 |
| 3.2.3 涂层韧性评价 | 第36-40页 |
| 3.2.4 涂层膜/基结合力评价结果 | 第40-41页 |
| 3.2.5 涂层摩擦磨损分析结果 | 第41-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 类金刚石涂层和含有SiC/DLC过渡层的类金刚石涂层的性能评价 | 第47-63页 |
| 4.1 DLC样品和SiC/DLC样品的涂层成分与结构表征 | 第47-49页 |
| 4.1.1 涂层厚度测量结果 | 第47-48页 |
| 4.1.2 涂层断面组织形貌及EDX能谱分析 | 第48页 |
| 4.1.3 Raman光谱结果分析 | 第48-49页 |
| 4.2 DLC样品和SiC/DLC样品的涂层性能表征 | 第49-62页 |
| 4.2.1 涂层显微硬度测量结果 | 第49-50页 |
| 4.2.2 涂层弹塑性变形能力测量结果 | 第50-53页 |
| 4.2.3 涂层韧性评价 | 第53-57页 |
| 4.2.4 涂层膜/基结合力评价结果 | 第57-58页 |
| 4.2.5 涂层摩擦磨损分析结果 | 第58-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及科研成果 | 第73页 |
