| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 细胞计数方法及应用概述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 人工计数 | 第9页 |
| 1.2.2 基于光原理的细胞计数 | 第9-11页 |
| 1.2.3 基于库尔特(Coulter)原理的细胞计数 | 第11-12页 |
| 1.2.4 基于图像处理的细胞计数 | 第12-13页 |
| 1.3 MEMS加工技术简介 | 第13页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第13-16页 |
| 第二章 细胞浓度检测器的理论分析 | 第16-28页 |
| 2.1 系统方案概述 | 第16-17页 |
| 2.2 传输矩阵的介绍 | 第17-20页 |
| 2.2.1 光线的直线传播 | 第17-18页 |
| 2.2.2 光线在球面界面的折射 | 第18-19页 |
| 2.2.3 透镜系统矩阵 | 第19-20页 |
| 2.3 光纤简介 | 第20-22页 |
| 2.4 系统中各单元尺寸的设计 | 第22-26页 |
| 2.4.1 输入单元和准直系统的设计 | 第22-24页 |
| 2.4.2 聚焦单元的设计 | 第24-25页 |
| 2.4.3 耦合单元的设计 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 细胞浓度检测计的加工制备 | 第28-46页 |
| 3.1 材料与仪器 | 第28-32页 |
| 3.1.1 细胞浓度检测计的制备材料 | 第28-29页 |
| 3.1.2 细胞浓度检测计制备的加工仪器 | 第29-32页 |
| 3.2 细胞浓度检测计的制备工艺简介 | 第32-35页 |
| 3.2.1 光刻工艺介绍 | 第33-34页 |
| 3.2.2 干法刻蚀工艺介绍 | 第34-35页 |
| 3.3 盖片的制备 | 第35-41页 |
| 3.3.1 盖片加工的工艺流程设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 盖片的加工 | 第36-41页 |
| 3.4 基底的制备 | 第41-44页 |
| 3.4.1 硅片基底加工的工艺流程设计 | 第41-42页 |
| 3.4.2 基底的加工 | 第42-44页 |
| 3.5 基底和盖片的键合 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 实验平台搭建及细胞浓度检测应用测试 | 第46-58页 |
| 4.1 细胞悬浮液制备 | 第46-50页 |
| 4.1.1 实验试剂 | 第46-47页 |
| 4.1.2 实验仪器 | 第47-49页 |
| 4.1.3 实验准备 | 第49-50页 |
| 4.1.4 悬浮细胞液制备 | 第50页 |
| 4.2 细胞浓度检测实验 | 第50-56页 |
| 4.2.1 实验平台搭建 | 第50-52页 |
| 4.2.2 模式效应消除方法 | 第52-53页 |
| 4.2.3 实验准备 | 第53页 |
| 4.2.4 细胞浓度检测 | 第53-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |